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マニュアルタイプ (1点測定システム)

コンパクトで簡単操作の手動式非接触(渦電流法)抵抗測定器

製品名:EC-80

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • マニュアルタイプ (1点測定システム)

製品の特長

  • プローブ間にサンプルを入れるだけで、測定可能な簡易測定器
  • 抵抗率/シート抵抗測定モードを簡単に切り替え
  • JOGダイアルによる簡単な測定条件設定
  • ※プローブ固定式のため、ご購入の前に数タイプのプローブから1タイプを選択となります。

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)
その他(※お問い合わせください)

 

測定サイズ

~8インチ、または~156x156mm

 

測定範囲

[抵抗率] 1m ~ 200Ω・cm
(*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗] 10m ~ 3k Ω/sq
(*全プローブタイプの合計範囲)

 

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
(1)  Low : 0.01~0.5Ω/□ (0.001~0.05Ω‐cm)
(2)  Middle : 0.5~10Ω/□ (0.05~0.5Ω‐cm)
(3)  High : 10~1000Ω/□ (0.5~60Ω‐cm)
(4)  S-High : 1000~3000Ω/□ (60~200Ω‐cm)

 

ハンディプローブによる手動式非破壊(渦電流法)抵抗測定器

製品名:EC-80P (Portable)

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • マニュアルタイプ (1点測定システム)
  • マニュアルタイプ (1点測定システム)

製品の特長

  • ハンディプローブを簡易接触させるだけで、抵抗測定が可能
  • 抵抗率/シート抵抗測定モードを簡単に切り替え
  • JOGダイアルによる簡単な測定条件設定
  • コネクター接続の抵抗測定プローブは交換可能なため、幅広い抵抗レンジに対応
  • (抵抗プローブ:最大2本+PN判定プローブを使用可能)

 

 

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)
その他(※お問い合わせください)

 

測定サイズ

サンプルサイズ、形状を問わずに測定可能(但し20mmφより大きく、かつ平面が出ているもの)

 

測定範囲

[抵抗率] 1m ~ 200 Ω・cm
(*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗] 10m ~ 3k Ω/sq
(*全プローブタイプの合計範囲)

 

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
(1)  Low : 0.01~0.5Ω/□ (0.001~0.05Ω‐cm)
(2)  Middle : 0.5~10Ω/□ (0.05~0.5Ω‐cm)
(3)  High : 10~1000Ω/□ (0.5~60Ω‐cm)
(4)  S-High : 1000~3000Ω/□ (60~200Ω‐cm)
(5)  Solar Wafer : 5~500Ω/□ (0.2~15Ω‐cm)

 

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

Download

パソコンによる簡単操作の非接触(渦電流法)抵抗率/シート抵抗測定器

製品名:NC-10 (NC-20)

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • マニュアルタイプ (1点測定システム)

製品の特長

  • 省スペースでパソコンによる簡単な操作、データ処理
  • 非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えず測定が可能
  • プローブは取り外し交換式のため、レンジ毎のプローブに簡単に交換可能
  • (*抵抗プローブ2個目以降はオプション対応)
  • 中心1点測定
  • 厚さ・温度補正機能(シリコンウエハ)

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
 シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
 化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)
 その他(※お問い合わせください)

 

測定サイズ

3~8インチ、~156×156mm
(オプション;2インチまたは12インチ、~210×210mm)

 

測定範囲

[抵抗率] 1m ~ 200 Ω・cm
(*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗] 10m ~ 3k Ω/sq
(*全プローブタイプの合計範囲)

 

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
(1)  Low : 0.01~0.5Ω/□ (0.001~0.05Ω‐cm)
(2)  Middle : 0.5~10Ω/□ (0.05~0.5Ω‐cm)
(3)  High : 10~1000Ω/□ (0.5~60Ω‐cm)
(4)  S-High : 1000~3000Ω/□ (60~200Ω‐cm)

 

DUORES[デュオレス] ハンディタイプシート抵抗測定器 (2プローブ交換使用[接触式&非破壊式測定プローブ])

製品名:DUORES

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • マニュアルタイプ (1点測定システム)

製品の特長

持ち運びも測定実施も簡単な、ハンディタイプシート抵抗測定器 : DUORES(デュオレス)

測定対象に合わせ、2種のプローブ(非破壊式・接触式)を交換使用

•2種のプローブ(非破壊式・接触式)を交換使用できる、世界初のハンディタイプシート抵抗測定器
•プローブを載せるだけ/当てるだけで自動測定
•バッテリー連続操作可能時間:24時間(*電池使用の場合)
•表示データ件数:最大100件(*直近のデータから表示)

•保存データ件数:最大50,000件(*専用ソフトウェア表示)
•測定データ転送機能:USB-Mini
•ディスプレイ:表示単位3種(Ω/□, S/□, n/m[金属膜厚換算])、4桁浮動少数点(0.000~9999)

*本体+非破壊式プローブのみ、本体+接触式プローブのみでも販売しております。

測定仕様

測定対象

フィルム、ガラス、紙材など。
測定レンジ内であれば、原則として、どんなサンプルでも測定可能です。
•薄膜材(ITO, TCOなど)
•Low-E-Glass
•カーボンナノチューブ、グラフェン材
•金属材(ナノワイヤ、グリッド、メッシュ)
•その他

 

測定サイズ

サイズ、厚さによらず測定可能
(*各プローブの測定スポットサイズ以上のもの)

<測定スポット>

・非破壊式プローブ(渦電流式):φ25mm

・接触式プローブ(4探針式):9mm

 

測定範囲

・非破壊式プローブ(渦電流法):0.5 -200 Ω/sq
・接触式プローブ(4探針法):0.1 -4000 Ω/sq

 

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

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非接触式(パルス電圧励磁法) 超低抵抗レンジ用 抵抗測定システム

製品名:PVE-80

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • マニュアルタイプ (1点測定システム)
  • マニュアルタイプ (1点測定システム)

製品の特長

  • パルス電圧励磁法を測定原理に採用した、非接触式抵抗測定システムのため、サンプルにダメージを与えず測定が可能

  • 省スペース設計の本体筐体、ポータブル対応の取外し可能ステージ

  • PC(専用ソフトウェア)による簡単な測定操作、データ保存・管理

  • ご用途により、測定表示単位の変更が可能(シート抵抗、電気伝導率、電気導電性)

    *本製品は、弊社と千葉大学との共同開発による測定法:パルス電圧励磁法(特許第5386394号)を使用しております。

測定仕様

測定対象

新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)
その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

~ A4サイズ程度(W300 x D210mm)

測定範囲

50μ ~ 1m Ω/sq

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

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