EC-80 非接触渦電流法による抵抗率、シート抵抗マニュアル測定器

EC-80
非接触渦電流法による抵抗率、シート抵抗マニュアル測定器

製品の特長・機能

1POINT 1点測定

NON-Contact type 非接触式

プローブ間にサンプルを入れるだけで、測定可能な簡易測定器

抵抗率、シート抵抗測定モードを簡単に切り替え
JOGダイアルによる簡単な測定条件設定

※プローブ固定式のため、ご購入の前に数タイプのプローブから1タイプを選択となります。

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
その他（※お問い合わせください）

対象のサイズ

～8インチ、または～156✕156mm

測定レンジ

［抵抗率］1m～200Ω·cm
（*全プローブタイプの合計範囲／厚さ500umの場合）
［シート抵抗］10m～3kΩ/sq
（*全プローブタイプの合計範囲）

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
（1）Low：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω·cm）
（2）Middle：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω·cm）
（3）High：10～1,000Ω/□（0.5～60Ω·cm）
（4）S-High：1,000～3,000Ω/□（60～200Ω·cm）