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フルオートタイプ(全自動測定システム)

ウエハ搬送ロボット搭載による4探針法 全自動測定ソーター

製品名:WS-8800

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • フルオートタイプ(全自動測定システム)

製品の特長

  • 厚さ測定、PN判定、温度測定に対応可能(シリコンウエハ)
  • セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
  • 厚さ・周辺位置・温度補正機能(抵抗率(比抵抗)測定)
  • カセット数はご要望により、いくつでも対応可能
  • *オプション: 通信ソフトウェア、SMIFまたはFOUP対応

 

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

3~8インチ(または12インチ)

測定範囲

[抵抗率] 100μ ~ 1M Ω・cm

[シート抵抗]1m ~ 10M Ω/sq

マッピングイメージ

  • フルオートタイプ(全自動測定システム)
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半導体プロセス評価用 4探針法 自動薄膜シート抵抗測定システム

製品名:WS-3000

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • フルオートタイプ(全自動測定システム)

製品の特長

  • 4種類のプローブヘッドが装着できるプローブチェンジャー機構のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要
  • デュアルモードにより、エッジ1mmまで高精度に測定
  • 高速測定による優れたコストメリット
  • 薄膜3nmの測定実績 FOUPロードポート、GEM/SECS対応

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • 拡散サンプル
  • シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
  • その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

12インチ
(オプション;200mm兼用)

測定範囲

[シート抵抗]1m ~10M Ω/sq

マッピングイメージ

  • フルオートタイプ(全自動測定システム)
  • フルオートタイプ(全自動測定システム)

ガラスカセットエレベーターとガラス搬送機構を搭載した全自動システム

製品名:RT-3000/RG-1000F

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • フルオートタイプ(全自動測定システム)

製品の特長

  • フラットパネル(液晶用など)分野における世界標準シート抵抗測定システム
  • セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ
  • Min.0.1mm測定ピッチで、測定パターンを任意に設定可能
  • カセット内ガラスサンプルマッピング(あり/なしサーチ)機能
  • CIM通信、2-D/3-Dマッピングソフトウェア

 

測定仕様

測定対象

  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • シリコン系薄膜(LTPSなど)、IGZO

測定サイズ

~1,500 ×1,850mm 程度

測定範囲

[シート抵抗]10m ~1G Ω/sq
(オプション;~1T Ω/sq)

マッピングイメージ

  • フルオートタイプ(全自動測定システム)
  • フルオートタイプ(全自動測定システム)

フラットパネル(液晶用など)分野における世界標準4探針法測定システム

製品名:RT-3000/RS-1300

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • フルオートタイプ(全自動測定システム)

製品の特長

  • ローダロボットとのドッキングにより全自動システムに展開
  • セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ
  • Min.0.1mm測定ピッチで、測定パターンを任意に設定可能
  • CIM通信、2-D/3-Dマッピングソフトウェア
  • *オプション:
  •  高抵抗測定用2探針法測定ユニット(HR-20) 追加搭載
  •  非接触(渦電流法)測定ユニット(NC-60F) 追加搭載

測定仕様

測定対象

  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • シリコン系薄膜(LTPSなど)、IGZO

測定サイズ

~2,880 x 3,080mm程度

測定範囲

[シート抵抗]10m ~1G Ω/sq
(オプション;~1T Ω/sq)

マッピングイメージ

  • フルオートタイプ(全自動測定システム)
  • フルオートタイプ(全自動測定システム)