WS-3000
4探針法による半導体プロセス評価用自動薄膜シート抵抗測定システム
製品の特長・機能
4種類のプローブヘッドが装着できるプローブチェンジャー機構のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要
- デュアルモードにより、エッジ１mmまで高精度に測定
- 高速測定による優れたコストメリット
- 薄膜3nmの測定実績 FOUPロードポート、GEM/SECS対応
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル
- シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
12インチ（オプション；200ｍｍ兼用）
測定レンジ
［シート抵抗］1m～10MΩ/sq
製品サイズ
約W1500×D700×H1850mm
