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インラインタイプ (組込用測定モジュール)

組込用 非接触(渦電流法)抵抗率測定モジュール

製品名:NC-110 (NC-110PV)

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • インラインタイプ (組込用測定モジュール)
  • インラインタイプ (組込用測定モジュール)

製品の特長

  • ユーザー側の製造ラインや搬送ロボットなどへの組込に対応した測定モジュール
  • ご要望の抵抗測定レンジに合わせてプローブ数およびプローブタイプを決定
  • LAN接続でホストPCへコマンド/測定データを通信

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
 シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
 化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)
 その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

2~8インチ、~156×156mm
(オプション; ~12インチ、~210×210mm)

測定範囲

[抵抗率] 1m ~200 Ω・cm
(*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗] 10m ~ 3k Ω/sq
(*全プローブタイプの合計範囲)
[厚さ]500~800μm程度

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。

(1)  Low : 0.01~0.5Ω/□ (0.001~0.05Ω‐cm)
(2)  Middle : 0.5~10Ω/□ (0.05~0.5Ω‐cm)
(3)  High : 10~1000Ω/□ (0.5~60Ω‐cm)
(4)  S-High : 1000~3000Ω/□ (60~200Ω‐cm)

組込用 非接触(渦電流法)シート抵抗測定モジュール(フラットパネル用)

製品名:NC-600

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • インラインタイプ (組込用測定モジュール)

製品の特長

  • コンベア上を流れるガラス上のITO膜、メタル膜などのシート抵抗をノンストップで測定
  • 透過率計の搭載による装置の複合化が可能 (ITOなどの透明膜測定)
  • プローブ数は、1~10個まで設置可能(基板サイズによる)
  • ガラス検出センサー搭載
  • LAN接続でホストPCへコマンド/測定データを通信

 

測定仕様

測定対象

新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)

測定サイズ

~2,880x3,080mm程度

測定範囲

10 ~ 1000Ω/sq [標準レンジタイプ]
*測定レンジは、1m ~ 2000Ω/sqから選択設定可能です。
測定下限~上限までが100倍以内の範囲でレンジをご指定ください。

組込用 非接触(渦電流法)シート抵抗測定モジュール(フィルムサンプル用)

製品名:NC-700

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • インラインタイプ (組込用測定モジュール)

製品の特長

  • PETフィルムなどの基材上の導電膜のシート抵抗をインラインで連続測定
  • 必要なライン数(=プローブ数)での製作が可能なため、研究開発から生産ラインまで幅広い用途に対応
  • オフセットフリー仕様のため、測定値がシフトせずに最長24hの連続測定が可能
  • 既設の搬送装置や成膜装置などへの取り付けにも対応

 

測定仕様

測定対象

新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)

測定サイズ

ご相談ください

測定範囲

10 ~ 1000Ω/sq [標準レンジタイプ]
*測定レンジは、1m ~ 2000Ω/sqから選択設定可能です。
測定下限~上限までが100倍以内の範囲でレンジをご指定ください。

対応フィルム搬送速度 : 最大250mm/秒
測定間隔 : 0.1 – 1.0秒/1点 *0.1秒単位で設定可能

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

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