SRS-2010
2探針法の拡がり抵抗測定器
製品の特長・機能
試料の深さ方向の抵抗率分布、エピタキシャル層の厚さ、PN接合の深さ、キャリア濃度分布を求めることが可能
- 数mm角の領域から数百μm程度のパターン領域の分析が可能
- 測定した拡がり抵抗から、較正曲線を用いて抵抗率を算出
測定仕様
測定対象
- 半導体
- 太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
対象のサイズ
*お問い合わせください。
測定レンジ
1～10E+9（Ω）［拡がり抵抗］
印加電圧：10（mV） 検出電流：10（pA）～10（mA）
製品情報
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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ウエハーフラットネス測定システム
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ライフタイム測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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PN判定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。