非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器の製品一覧 非接触式の抵抗率、シート抵抗測定システムです。上下に配置されたプローブヘッド間にサンプルを挿入し測定実施します(*渦電流法)。サンプルにダメージを与えずに測定可能です。 マニュアル(1点測定システム) セミオート(多点測定システム) フルオート(全自動測定システム) インライン(組込用測定モジュール) 製品情報 接触式 抵抗率、シート抵抗測定器 非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器 ウエハーフラットネス測定システム ライフタイム測定器 2探針法の拡がり抵抗測定器 PN判定器 4探針プローブヘッド 抵抗率基準ウエハー