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マニュアルタイプ(1点測定システム)

抵抗率(比抵抗)/シート抵抗の簡易測定用4探針法測定器

製品名:RT70V series

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

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製品の特長

測定テスター(RT-70V)と測定ステージの組み合わせ測定器です。

 

<測定テスター:RT-70V>

  • JOGダイアルによる簡単な操作・厚さ・温度・PN入力(RT-70Vテスター)
  • セルフテスト機能、自動測定レンジ切替え、4種類の測定モード
  • 厚さ・温度補正機能付き(シリコン用)

 

<測定ステージ>

*測定ステージは、目的・ご用途により、下記からお選び頂けます。

  • (1) RG-7C  [製品イメージ 左上]: モーターによるプローブ上下自動ステージ
  • (2) RG-5  [製品イメージ 左下] 手動レバーによるプローブ上下ステージ
  • (3) RG-7S  [製品イメージ 右上]ガラス基板/フィルムサンプル用X-Yステージ
  • (4) TS-7D [製品イメージ 右下] ハンディプローブタイプ *ステージプレートはオプションです。

 

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • 拡散サンプル
  • シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
  • その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

*組み合わせ測定ステージタイプによります。

円型:~300mm(12インチ)、角型:~730x920mm程度まで幅広く対応可能です。

測定範囲

[抵抗率(比抵抗)]1μ ~300k Ω・cm
[シート抵抗] 5m ~10M Ω/sq

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

Download

温調機能付き 高温対応 4探針法抵抗率(比抵抗)測定システム

製品名:TCR-600

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

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製品の特長

・室温からMax.600℃の範囲で温調し、抵抗を段階的に自動測定

・真空制御、不活性ガス置換制御、加熱ステージ、水冷チラー、測定部温度計、ガス流量計、真空計などで構成

・Max.120℃対応であれば、セミオート機(面内多点測定・マッピング測定)へのカスタマイズ対応も可能

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

φ10mmまたは5X10mm~35X35mm
[*チャンバー内サンプルサイズ。その他のサイズ対応はご相談ください]

測定範囲

[抵抗率(比抵抗)] 10μ~100kΩ・cm

DUORES[デュオレス] ハンディタイプシート抵抗測定器 (2プローブ交換使用[接触式&非破壊式測定プローブ])

製品名:DUORES

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

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製品の特長

持ち運びも測定実施も簡単な、ハンディタイプシート抵抗測定器 : DUORES(デュオレス)
測定対象に合わせ、2種のプローブ(非破壊式・接触式)を交換使用

•2種のプローブ(非破壊式・接触式)を交換使用できる、世界初のハンディタイプシート抵抗測定器
•プローブを載せるだけ/当てるだけで自動測定
•バッテリー連続操作可能時間:24時間(*電池使用の場合)
•表示データ件数:最大100件(*直近のデータから表示)

•保存データ件数:最大50,000件(*専用ソフトウェア表示)
•測定データ転送機能:USB-Mini
•ディスプレイ:表示単位3種(Ω/□, S/□, n/m[金属膜厚換算])、4桁浮動少数点(0.000~9999)

*本体+非破壊式プローブのみ、本体+接触式プローブのみでも販売しております。

測定仕様

測定対象

フィルム、ガラス、紙材など。
測定レンジ内であれば、原則として、どんなサンプルでも測定可能です。
•薄膜材(ITO, TCOなど)
•Low-E-Glass
•カーボンナノチューブ、グラフェン材
•金属材(ナノワイヤ、グリッド、メッシュ)
•その他

測定サイズ

サイズ、厚さによらず測定可能
(*各プローブの測定スポットサイズ以上のもの)

<測定スポット>

・非破壊式プローブ(渦電流式):φ25mm

・接触式プローブ(4探針式):9mm

測定範囲

・非破壊式プローブ(渦電流法):0.5 -200 Ω/sq
・接触式プローブ(4探針法):0.1 -4000 Ω/sq

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

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