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シリコンウエハ、半導体薄膜、
フラットパネル薄膜や太陽電池の抵抗率／
シート抵抗測定

ナプソン株式会社

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接触式抵抗測定

接触式の抵抗測定システムです。針状のプローブヘッドをサンプルに接触させ測定実施します。測定対応範囲が広く、様々なサンプルタイプに使用できます。
非接触式抵抗測定

非接触式の抵抗測定システムです。上下に配置されたプローブヘッド間にサンプルを挿入し測定実施します(*渦電流法）。サンプルにダメージを与えずに測定可能です。
フラットネス・厚さ測定

非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。ウエハサンプルのフラットネス（TTV, BOW, WARP）、厚さを測定します。
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トピックス・お知らせ> 一覧

2018.12.27年末年始の休業のお知らせ
2018.11.3012月にビッグサイトで開催される展示会、SEMICON Japanに出展致します。
2018.08.069月に台湾で開催される展示会、SEMICON Taiwanに出展致します。
2018.07.03新クリーンルームが竣工致しました
2018.05.25弊社の結城が、旭日単光賞の叙勲を受けました

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