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シリコンウエハ、半導体薄膜、
フラットパネル薄膜や太陽電池の抵抗率／
シート抵抗測定

ナプソン株式会社

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接触式抵抗測定

接触式の抵抗測定システムです。針状のプローブヘッドをサンプルに接触させ測定実施します。測定対応範囲が広く、様々なサンプルタイプに使用できます。
非接触式抵抗測定

非接触式の抵抗測定システムです。上下に配置されたプローブヘッド間にサンプルを挿入し測定実施します(*渦電流法）。サンプルにダメージを与えずに測定可能です。
フラットネス・厚さ測定

非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。ウエハサンプルのフラットネス（TTV, BOW, WARP）、厚さを測定します。
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トピックス・お知らせ> 一覧

2020.03.27ナプソン、移転します
2019.12.10今年もSEMICON Japanに出展致します！
2019.08.22山形大学との共同研究で特許取得致しました
2019.08.219月に台湾で開催される展示会、SEMICON Taiwanに出展致します。
2019.02.27山形大学より技術論文が公開されました

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