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- 接触式 抵抗測定
- 接触式の抵抗測定システムです。針状のプローブヘッドをサンプルに接触させ測定実施します。測定対応範囲が広く、様々なサンプルタイプに使用できます。
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- 非接触式 抵抗測定
- 非接触式の抵抗測定システムです。上下に配置されたプローブヘッド間にサンプルを挿入し測定実施します(*渦電流法）。サンプルにダメージを与えずに測定可能です。
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- フラットネス・厚さ測定
- 非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。ウエハサンプルのフラットネス（TTV, BOW, WARP）、厚さを測定します。
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