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DUORES EC-80P RT-70V/RG-7C Cresbox NC-80MAP NC-700 RS-1300

シリコンウエハ、半導体薄膜、
フラットパネル薄膜や太陽電池の抵抗率/
シート抵抗測定

ナプソン株式会社

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  • 接触式 抵抗測定
    接触式の抵抗測定システムです。針状のプローブヘッドをサンプルに接触させ測定実施します。測定対応範囲が広く、様々なサンプルタイプに使用できます。
  • 非接触式 抵抗測定
    非接触式の抵抗測定システムです。上下に配置されたプローブヘッド間にサンプルを挿入し測定実施します(*渦電流法)。サンプルにダメージを与えずに測定可能です。
  • フラットネス・厚さ測定
    非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。ウエハサンプルのフラットネス(TTV, BOW, WARP)、厚さを測定します。
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