WS-8800
4探針法によるウエハー搬送ロボット式全自動ソーター
製品の特長・機能
厚さ測定、PN判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ）
- セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
- 厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率（比抵抗）測定）
- カセット数はご要望により、いくつでも対応可能
*オプション：通信ソフトウェア、SMIFまたはFOUP対応
動画解説
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
3～8インチ（または12インチ）
測定レンジ
［抵抗率］100μ～1MΩ・cm
［シート抵抗］1m～10MΩ/sq
