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フルオートタイプ (全自動測定システム)

フラットパネル(液晶用など)対応の非接触(渦電流法)シート抵抗測定システム

製品名:NC-60F/RS-1300N

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • フルオートタイプ (全自動測定システム)

製品の特長

  • X-Y-Z軸、非接触渦電流プローブ移動による自動システム
  • ローダロボットとのドッキングにより全自動システムに展開
  • 膜厚計、透過率計などの搭載による装置の複合化が可能 (ITOなどの透明膜測定)
  • ITO膜、メタル膜などの非接触測定に最適
  • ・オプション: 接触式(4探針法)測定ユニット(RT-3000) 追加搭載

測定仕様

測定対象

導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)

測定サイズ

~2,880 x 3,080mm程度

測定範囲

[シート抵抗]
①ITO膜向け;5 ~800Ω/sq程度
②メタル膜向け;10m~10Ω/sq程度 [膜厚]200Å以上

関連製品

・Model : NC-60F/RG-100N

(*片面非接触プローブを、卓上ステージタイプに転用)

NC60F_RG100

マッピングイメージ

  • フルオートタイプ (全自動測定システム)
  • フルオートタイプ (全自動測定システム)

ベルト搬送による非接触(渦電流法)ウエハソーティングシステム

製品名:NC-6800

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • フルオートタイプ (全自動測定システム)

製品の特長

  • 抵抗率・厚さ・PN判定を全て非接触測定
  • 抵抗率は渦電流法、厚さは静電容量法を採用
  • シリコンウエハ、GaP、InPなどの化合物半導体の生産管理に最適
  • 温度計、温度補正機能付(シリコンウエハ)
  • カセット数はご要望により、いくつでも対応可能
  • ・オプション: ウエハフラットネス測定器(FLA-200) 追加搭載

 

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)

測定サイズ

3~8インチ

測定範囲

[抵抗率] 1m ~200 Ω・cm (*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗] 10m ~ 3k Ω/sq (*全プローブタイプの合計範囲)
[厚さ]150~1200μm程度

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
(1) Low : 0.01~0.5Ω/□ (0.001~0.05Ω‐cm)
(2) Middle : 0.5~10Ω/□ (0.05~0.5Ω‐cm)
(3) High : 10~1000Ω/□ (0.5~60Ω‐cm)
(4) S-High : 1000~3000Ω/□ (60~200Ω‐cm)

ロボット搬送による非接触(渦電流法)全自動ウエハソーティングシステム

製品名:NC-3000R

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • フルオートタイプ (全自動測定システム)

製品の特長

  • 大口径ウエハを対象とした高精度測定システム
  • 抵抗率・厚さ・PN判定を全て非接触測定
  • 測定エリアと搬送エリアの2段式のため省スペース設計
  • *搭載カセット数はご相談ください
  • ・オプション: ウエハフラットネス測定器(FLA-200) 追加搭載

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)

測定サイズ

6~8インチ、または12インチ

測定範囲

[抵抗率] 1m ~200 Ω・cm
(*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗] 10m ~ 3k Ω/sq
(*全プローブタイプの合計範囲)

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
(1) Low : 0.01~0.5Ω/□ (0.001~0.05Ω‐cm)
(2) Middle : 0.5~10Ω/□ (0.05~0.5Ω‐cm)
(3) High : 10~1000Ω/□ (0.5~60Ω‐cm)
(4) S-High : 1000~3000Ω/□ (60~200Ω‐cm)