NC-600MAP
非接触（渦電流法）によるカセットステーション搭載式の抵抗率、シート抵抗測定システム
製品の特長・機能
非接触の渦電流方式。ダメージを与えず測定が可能
- シリコンウエハー、GaP、InPなどの化合物半導体の生産管理に最適
- 複数タイプの非接触プローブによる広範囲レンジ対応の抵抗測定器
（搭載するプローブ数およびプローブタイプはご要望により変更可能） - エッジ8mmからの多点測定可能
- 測定パターンプログラマブルかつ2-D／3-Dマッピングソフトウェア
- カセットステーションを1ヶ搭載し、作業効率化（測定後同一スロットへ収納）
※オプション：ウエハー厚さ測定プローブ追加搭載です
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
対象のサイズ
3～8インチ
測定レンジ
［抵抗率］1m～200Ω·cm（*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合）
［シート抵抗］10m～3kΩ/sq（*全プローブタイプの合計範囲）
［厚さ］150～1,200μｍ程度
*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
（1）Low：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω·cm）
（2）Middle：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω·cm）
（3）High：10～1,000Ω/□（0.5～60Ω·cm）
（4）S-High：1,000～3,000Ω/□（60～200Ω·cm）
