メニューを閉じる

セミオートタイプ
(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)

抵抗率(比抵抗)/シート抵抗のテスター/ステージ一体タイプ セミオート4探針法測定器

製品名:Cresbox

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)

製品の特長

  • 測定パターンプログラマブルかつ円型・角型測定対応マッピングソフトウェア
  • セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
  • 厚さ・ 周辺位置・温度補正機能(シリコン用)
  • シート抵抗・メタル膜厚表示機能

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • 拡散サンプル シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
  • その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

~8インチ、または~156x156mm

 

測定範囲

[抵抗率(比抵抗)]1m~300k Ω・cm
[シート抵抗] 5m~10M Ω/sq

 

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

Download

マッピングイメージ

  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)

抵抗率(比抵抗)/シート抵抗のハイスペックタイプ セミオート4探針法測定器

製品名:RT-3000/RG-2000 (RG-3000)

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)

製品の特長

  • 世界一の抵抗測定レンジを持った4探針法測定器
  • 測定パターンプログラマブルかつ円型・角型測定対応マッピングソフトウェア
  • セルフテスト機能、厚さ・周辺位置・温度補正機能 (シリコン用)
  • 抵抗レンジにより、2タイプのテスターから選択
  • (RT-3000(S): 広範囲測定レンジ、RT-3000(H) : 高抵抗測定レンジ)

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • 拡散サンプル
  • シリコン系薄膜(LTPSなど)、IGZO
  • シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
  • その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

~8インチ、または~156x156mm 

・オプション(大径サイズ対応:Model RG-3000):~12インチ、~210×210mm

 

測定範囲

①RT-3000(S);
[抵抗率(比抵抗)]100μ~1M Ω・cm
[シート抵抗]1m~10M Ω/sq
②RT-3000(H);
[シート抵抗]10m~1G Ω/sq

 

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

Download

マッピングイメージ

  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)

フラットパネル(液晶など)を対象にした抵抗率(比抵抗)/シート抵抗測定セミオート器

製品名:RG-100PV

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)

製品の特長

  • ガラス基板上の薄膜を対象とした4探針法セミオート測定器
  • X-Y軸機構ステージ
  • 面内多点測定は、均等ピッチまたはランダムピッチの設定選択、2-D/3-Dマッピングソフトウェアを搭載

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • 拡散サンプル シリコン系薄膜(LTPSなど)、IGZO
  • シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
  • 化合物半導体関連(GaAs,Epi,GaN,Epi,InP,Gaなど)
  • その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

最大300×300mm (オプション;最大500×500mm)

 

測定範囲

[抵抗率(比抵抗)] 1m~200 Ω・cm
[シート抵抗]1m~1,000k Ω/sq (オプション;~10M Ω/sq)

 

マッピングイメージ

  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
  • セミオートタイプ<br />(多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)