Cresbox
4探針法による抵抗率、シート抵抗のテスター
ステージ一体タイプ セミオート
製品の特長・機能
測定パターンプログラマブル、円型・角型測定対応マッピングソフトウェア
- セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
- 厚さ･ 周辺位置・温度補正機能（シリコン用）
- シート抵抗・メタル膜厚表示機能
動画解説
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
～8インチ、または～156ｘ156mm
測定レンジ
［抵抗率（比抵抗）］1m～300kΩ･cm
［シート抵抗］ 5m～10MΩ/sq
製品サイズ
W330×D600×H340mm
約36kg
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
セミオート（多点測定システム）その他の製品
製品情報
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器の関連製品
取扱い製品
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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ウエハーフラットネス測定システム
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ライフタイム測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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PN判定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。