RG-200PV
4探針法による抵抗率、シート抵抗の太陽電池用
セミオート測定器
製品の特長・機能
太陽電池ウェハ対象とした4探針法セミオート測定器
X-Y軸機構ステージ。
面内多点測定は、均等ピッチまたはランダムピッチの設定選択、2-D/3-Dマッピングソフトウェアを搭載
※ガラス基板を対象にした装置（RG-100）もございますので、ご入用の際はご相談下さい。
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル シリコン系薄膜（LTPSなど）、IGZO
- シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
最大210×210mm（角形）
その他サイズについてはご相談下さい。
測定レンジ
［抵抗率（比抵抗）］ 1m～10k・cm
［シート抵抗］1m～1MΩ/sq
製品サイズ
W400×D325×H600mm
約35kg
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
セミオート（多点測定システム）その他の製品
製品情報
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器の関連製品
取扱い製品
-
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
-
非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
-
ウエハーフラットネス測定システム
-
ライフタイム測定器
-
2探針法の拡がり抵抗測定器
-
PN判定器
-
4探針プローブヘッド
-
抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。