FLA-200
ウエハーフラットネス測定システム
製品の特長・機能
非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。 ウエハーサンプルのフラットネス（TTV, BOW, WARP）、厚さを測定します。
- 厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネスを測定に対応（ASTM準拠）
- 2-D,3-Dマッピング表示対応のソフトウエア
- CSVファイルでのデータ出力可能
- 5㎜φコア静電容量式プローブによる、高精度測定
- 12,000点スキャン/60秒以内の高速測定
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- 化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
対象のサイズ
3～8インチ
測定レンジ
Thickness: 200 –1,200μm
Bow : +/-350μm
Warp: 350μm
