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セミオートタイプ (多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)

広範囲レンジ対応の非接触(渦電流法)シート抵抗/抵抗率 多点測定器

製品名:NC-80MAP

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • セミオートタイプ (多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)

製品の特長

  • 複数タイプの非接触プローブによる広範囲レンジ対応の抵抗測定器
    (搭載するプローブ数およびプローブタイプはご要望により変更可能)
  • エッジ8mmからの多点測定可能
  • 非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えず測定が可能
  • 測定パターンプログラマブルかつ2-D/3-Dマッピングソフトウェア
  • *オプション: ウエハ厚さ測定プローブ 追加搭載

 

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
 シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
 化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)
 その他(※お問い合わせください)

測定サイズ

2~8インチ
(オプション; 12インチ)

測定範囲

[抵抗率] 1m ~200 Ω・cm
(*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗] 10m ~ 3k Ω/sq
(*全プローブタイプの合計範囲)

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。

(1)  Low : 0.01~0.5Ω/□ (0.001~0.05Ω‐cm)
(2)  Middle : 0.5~10Ω/□ (0.05~0.5Ω‐cm)
(3)  High : 10~1000Ω/□ (0.5~60Ω‐cm)
(4)  S-High : 1000~3000Ω/□ (60~200Ω‐cm)

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

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マッピングイメージ

  • セミオートタイプ (多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
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超高抵抗レンジ対応の非接触(コロナ放電法)シート抵抗測定システム

製品名:CRN-100

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

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製品の特長

  • 超高抵抗レンジ:10E+9~10E+15 Ω/□ を非接触で測定
  • 面内マルチポイント測定機能
  • 2-D/3-Dマッピング画像表示
  • Windows7対応の専用ソフトウェア
  • 測定データはCSVファイル形式で出力可能
  • 非接触式のため、接触抵抗の影響を受けずに測定可能

 

*コロナ放電法:特許番号5510629取得

山形大学・杉本先生より技術協力を頂き、ナプソンが開発した装置です。

測定仕様

測定対象

*本装置の測定範囲内のサンプルであれば、原則として測定可能です。お問い合わせ下さい。

・超高抵抗薄膜サンプル(a-Si, IGZOなど)

・絶縁に近い半導体材料

・導電性ゴム

など

測定サイズ

サイズ:Max. 300 × 400 mm

厚さ:Max. 2 mm

*サイズ対応など、ご要望のカスタマイズ対応が可能です。ご相談下さい。

測定範囲

10E+9 ~ 10E+15 Ω/□

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

Download

マッピングイメージ

  • セミオートタイプ (多点測定システム〔ソフトウェア+PC付属〕)
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