抵抗率基準ウエハー : NRWシリーズ

抵抗率基準ウエハー NRWシリーズ

製品の特長・機能

NRWシリーズは、抵抗測定のリーディングカンパニーであるナプソンの厳正な測定基準により、抵抗率評価／証明された、基準シリコンウエハーです。中性子照射された安定性に優れたウエハーを使用しています。

ナプソンの4探針法抵抗測定装置は、抵抗率スタンダードウエハー（NIST, VLSI）により校正されており、また下記のSEMIスタンダード、日本工業規格（JIS）および米国材料試験協会（ASTM）により定められた規格に準拠しています。

＜準拠規格＞
［SEMIスタンダード（SEMIl Standards）］
SEMI-MF43-99, SEMI-MF374-02, SEMI-MF84-02, SEMI-MF1529-02
［米国材料試験協会（American Society for Testing and Materials）］
ASTM-F-84-99（SEMI-MF84）, ASTM-F-374-00a, ASTM-F-390-11, ASTM-F-1529-97
［日本工業規格（Japan Industrial Standards）］
JIS-H-0602-1995

測定仕様

共通仕様

材質：シリコン
製造方法：FZ法
表面仕上げ：ラップ
結晶方向：(1-1-1) ± 1 deg.
ドーピング：N型（リン）
ウエハーサイズ：Φ100mm（4インチ）
ウエハー厚さ：*抵抗率タイプにより異なります。下記の表をご参照下さい。

ウエハーラインナップ／仕様

タイプ	抵抗率（Ohm.cm）	ウエハー厚さ（µm）	シート抵抗（Ohm/sq） *計算値
NRW-1-28	28.00 ±2.00	559.00 ±25.00	500 程度
NRW-2-110	110.00 ±11.00	580.00 ±10.00	2,000 程度
NRW-3-200	200.00 ±12.00	675.00 ±25.00	3,000 程度
NRW-4-330	330.00 ±25.00	675.00 ±25.00	5,000 程度
NRW-5-550	550.00 ±50.00	450.00 ±25.00	12,000 程度