抵抗率基準ウエハー NRWシリーズ
製品の特長・機能
NRWシリーズは、抵抗測定のリーディングカンパニーであるナプソンの厳正な測定基準により、抵抗率評価／証明された、基準シリコンウエハーです。中性子照射された安定性に優れたウエハーを使用しています。
ナプソンの4探針法抵抗測定装置は、抵抗率スタンダードウエハー（NIST, VLSI）により校正されており、また下記のSEMIスタンダード、日本工業規格（JIS）および米国材料試験協会（ASTM）により定められた規格に準拠しています。
＜準拠規格＞
［SEMIスタンダード（SEMIl Standards）］
SEMI-MF43-99, SEMI-MF374-02, SEMI-MF84-02, SEMI-MF1529-02
［米国材料試験協会（American Society for Testing and Materials）］
ASTM-F-84-99（SEMI-MF84）, ASTM-F-374-00a, ASTM-F-390-11, ASTM-F-1529-97
［日本工業規格（Japan Industrial Standards）］
JIS-H-0602-1995
測定仕様
共通仕様
- 材質：シリコン
- 製造方法：FZ法
- 表面仕上げ：ラップ
- 結晶方向：(1-1-1) ± 1 deg.
- ドーピング：N型（リン）
- ウエハーサイズ：Φ100mm（4インチ）
- ウエハー厚さ：*抵抗率タイプにより異なります。下記の表をご参照下さい。
ウエハーラインナップ／仕様
| タイプ | 抵抗率 （Ohm.cm） |
ウエハー厚さ （µm） |
シート抵抗 （Ohm/sq） *計算値 |
|---|---|---|---|
| NRW-1-28 | 28.00 ±2.00 | 559.00 ±25.00 | 500 程度 |
| NRW-2-110 | 110.00 ±11.00 | 580.00 ±10.00 | 2,000 程度 |
| NRW-3-200 | 200.00 ±12.00 | 675.00 ±25.00 | 3,000 程度 |
| NRW-4-330 | 330.00 ±25.00 | 675.00 ±25.00 | 5,000 程度 |
| NRW-5-550 | 550.00 ±50.00 | 450.00 ±25.00 | 12,000 程度 |
抵抗率 測定保証精度
| 保証位置 | 精度 |
|---|---|
| センターエリア （*ウエハー中心からφ5mmスポット） |
± 3 % |
*ナプソンの評価基準環条件／境下での保証精度
