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ナプソン 製品情報

EC-80P(Portable)
非破壊(渦電流法)によるハンディタイプ抵抗率、シート抵抗測定器

製品の特長・機能

1点測定
1POINT 1点測定
非接触式
NON-Contact type 非接触式

ハンディプローブを簡易接触させるだけで、抵抗測定が可能

  • 抵抗率、シート抵抗測定モードを簡単に切り替え
  • JOGダイアルによる簡単な測定条件設定
  • コネクター接続の抵抗測定プローブは交換可能なため、幅広い抵抗レンジに対応(抵抗プローブ:最大2本+PN判定プローブを使用可能)

動画解説

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
  • 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
  • 化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)
  • その他(※お問い合わせください)

対象のサイズ

サンプルサイズ、形状を問わずに測定可能(但し20mmφより大きく、かつ平面が出ているもの)

測定レンジ

[抵抗率]1m~200Ω・cm
(*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗]10m~3kΩ/sq
(*全プローブタイプの合計範囲)

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
(1)Low:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω·cm)
(2)Middle:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω·cm)
(3)High:10~1,000Ω/□(0.5~60Ω·cm)
(4)S-High:1,000~3,000Ω/□(60~200Ω·cm)
(5)Solar Wafer:5~500Ω/□(0.2~15Ω·cm)

製品サイズ

  • 本体:W255×D275×H95mm、4kg
  • プローブ部:20mmΦ×80mm

接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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