PVE-80
非接触式(パルス電圧励磁法)による 超低抵抗レンジ用 シート抵抗測定器
製品の特長・機能
省スペースかつパソコンによる簡単な操作、データ処理が可能な非接触式抵抗測定システム機器。
- 非接触の渦電流方式。ダメージを与えず測定が可能
- プローブは取り外し交換式。レンジ毎のプローブに簡単に交換可能
(*抵抗プローブ2個目以降はオプション対応) - 中心1点測定
- 厚さ・温度補正機能(シリコンウエハー)
測定仕様
測定対象
- 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
- 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
- その他(※お問い合わせください)
対象のサイズ
~A4サイズ程度(W300×D210mm)
測定レンジ
[抵抗率]50μ~1mΩ/sq