TCR-600
4探針法による温調機能付き 高温対応 抵抗率測定器
製品の特長・機能
- 室温からMax.600℃の範囲で温調し、抵抗を段階的に自動測定
- 真空制御、不活性ガス置換制御、加熱ステージ、水冷チラー、測定部温度計、ガス流量計、真空計などで構成
- Max.120℃対応であれば、セミオート機（面内多点測定・マッピング測定）へのカスタマイズ対応も可能
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
φ10mmまたは5x10mm～35x35mm
（*チャンバー内サンプルサイズ。その他のサイズ対応はご相談ください）
測定レンジ
［抵抗率（比抵抗）］10μ～100kΩ・cm
