TCR-600
4探針法による温調機能付き 高温対応 抵抗率測定器
製品の特長・機能
- 室温からMax.600℃の範囲で温調し、抵抗を段階的に自動測定
- 真空制御、不活性ガス置換制御、加熱ステージ、水冷チラー、測定部温度計、ガス流量計、真空計などで構成
- Max.120℃対応であれば、セミオート機（面内多点測定・マッピング測定）へのカスタマイズ対応も可能
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
φ10mmまたは5x10mm～35x35mm
（*チャンバー内サンプルサイズ。その他のサイズ対応はご相談ください）
測定レンジ
［抵抗率（比抵抗）］10μ～100kΩ・cm
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
マニュアル（1点測定システム）その他の製品
製品情報
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器の関連製品
取扱い製品
-
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
-
非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
-
ウエハーフラットネス測定システム
-
ライフタイム測定器
-
2探針法の拡がり抵抗測定器
-
PN判定器
-
4探針プローブヘッド
-
抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。