RT-70V series
4探針法による抵抗率、シート抵抗のマニュアル測定器
製品の特長・機能
測定テスター(RT-70V)と測定ステージの組み合わせ
<測定テスター:RT-70V>
JOGダイアルによる簡単な操作・厚さ・温度・PN入力(RT-70Vテスター)
セルフテスト機能、自動測定レンジ切替え、4種類の測定モード
厚さ・温度補正機能付き(シリコン用)
測定ステージ

1. RG-7C:モーターによるプローブ上下自動ステージ

2. RG-5:手動レバーによるプローブ上下ステージ

3. RG-7S:ガラス基板/フィルムサンプル用X-Yステージ

4.TS-7D:ハンディプローブタイプ *ステージプレートはオプションです。
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
- 新素材・機能性材料関連(カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど)
- 導電性薄膜関連(メタル、ITOなど)
- 拡散サンプル
- その他(※お問い合わせください)
対象のサイズ
*組み合わせ測定ステージタイプによります。
円型:~300mm(12インチ)、角型:~730x920mm程度まで幅広く対応可能です。
測定レンジ
[抵抗率(比抵抗)]1μ ~300kΩ・cm
[シート抵抗] 5m~10MΩ/sq
[抵抗率(比抵抗)]1μ~300kΩ・cm
[シート抵抗] 5m~10MΩ/sq
製品サイズ
RT-70V:W250×D330×H130mm
約7kg