RT-70V series
4探針法による抵抗率、シート抵抗のマニュアル測定器
製品の特長・機能
測定テスター（RT-70V）と測定ステージの組み合わせ
＜測定テスター：RT-70V＞
JOGダイアルによる簡単な操作・厚さ・温度・PN入力（RT-70Vテスター）
セルフテスト機能、自動測定レンジ切替え、4種類の測定モード
厚さ・温度補正機能付き（シリコン用）
測定ステージ
1. RG-7C：モーターによるプローブ上下自動ステージ
2. RG-5：手動レバーによるプローブ上下ステージ
3. RG-7S：ガラス基板/フィルムサンプル用Ｘ-Ｙステージ
4.TS-7D：ハンディプローブタイプ *ステージプレートはオプションです。
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
*組み合わせ測定ステージタイプによります。
円型：～300mm（12インチ）、角型：～730x920mm程度まで幅広く対応可能です。
測定レンジ
［抵抗率（比抵抗）］1μ ～300kΩ･cm
［シート抵抗］ 5m～10MΩ/sq
［抵抗率（比抵抗）］1μ～300kΩ･cm
［シート抵抗］ 5m～10MΩ/sq
製品サイズ
RT-70V:W250×D330×H130mm
約7kg
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
マニュアル（1点測定システム）その他の製品
製品情報
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器の関連製品
取扱い製品
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。