NC-110（NC-110PV）
非接触（渦電流法）による組込用抵抗率測定モジュール
製品の特長・機能
ユーザー側の製造ラインや搬送ロボットなどへの組込に対応した測定モジュール
- ご要望の抵抗測定レンジに合わせてプローブ数およびプローブタイプを決定
- LAN接続でホストPCへコマンド／測定データを通信
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
2～8インチ、～156×156mm
（オプション；～12インチ、～210×210mm）
測定レンジ
［抵抗率］1m～200Ω·cm
（*全プローブタイプの合計範囲／厚さ500umの場合）
［シート抵抗］10m～3kΩ/sq
（*全プローブタイプの合計範囲）
［厚さ］500～800μｍ程度
*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
（1）Low：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω·cm）
（2）Middle：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω·cm）
（3）High：10～1,000Ω/□（0.5～60Ω·cm）
（4）S-High：1,000～3,000Ω/□（60～200Ω·cm）
