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拡がり抵抗

2探針法の拡がり抵抗測定システム

製品名:SRS-2010

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • 拡がり抵抗
  • 拡がり抵抗

製品の特長

  • 試料の深さ方向の抵抗率分布、エピタキシャル層の厚さ、PN接合の深さ、キャリア濃度分布を求めることが可能
  • 数mm角の領域から数百μm程度のパターン領域の分析が可能。
  • 測定した拡がり抵抗から、較正曲線を用いて抵抗率を算出

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)

測定サイズ

*お問い合わせください。

測定範囲

1~10E+9(Ω) [拡がり抵抗]

.印加電圧:10(mV) 検出電流:10 (pA)~ 10(mA)