NRWシリーズは、抵抗測定のリーディングカンパニーであるナプソンの厳正な測定基準により、抵抗率評価/証明された、基準シリコンウエハです。中性子照射された安定性に優れたウエハを使用しています。
ナプソンの4探針法抵抗測定装置は、抵抗率スタンダードウエハ（NIST, VLSI)により校正されており、また下記のSEMIスタンダード、日本工業規格（JIS）および米国材料試験協会（ASTM）により定められた規格に準拠しています。
＜準拠規格＞
[SEMIスタンダード(SEMIl Standards)]
SEMI-MF43-99, SEMI-MF374-02, SEMI-MF84-02, SEMI-MF1529-02
[米国材料試験協会(American Society for Testing and Materials)]
ASTM-F-84-99(SEMI-MF84), ASTM-F-374-00a, ASTM-F-390-11, ASTM-F-1529-97
[日本工業規格(Japan Industrial Standards)]
JIS-H-0602-1995
＜共通仕様＞
・材質：シリコン
・製造方法：FZ法
・表面仕上げ：ラップ
・結晶方向：(1-1-1) ± 1 deg.
・ドーピング：N型（リン）
・ウエハサイズ：Φ100mm(4インチ)
・ウエハ厚さ：*抵抗率タイプにより異なります。下記の表をご参照下さい。
＜ウエハラインナップ/仕様＞
| タイプ | 抵抗率 (Ohm.cm) |
ウエハ厚さ (µm) |
シート抵抗 (Ohm/sq) *計算値 |
| NRW-1-28 | 28.00 ±2.00 | 559.00 ±25.00 | 500 程度 |
| NRW-2-110 | 110.00 ±11.00 | 580.00 ±10.00 | 2000 程度 |
| NRW-3-200 | 200.00 ±12.00 | 675.00 ±25.00 | 3000 程度 |
| NRW-4-330 | 330.00 ±25.00 | 675.00 ±25.00 | 5000 程度 |
| NRW-5-550 | 550.00 ±50.00 | 450.00 ±25.00 | 12000 程度 |
＜抵抗率 測定保証精度＞
| 保証位置 | 精度 |
| センターエリア （*ウエハ中心からφ5mmスポット） |
± 3 % |
*ナプソンの評価基準環条件/境下での保証精度
*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。
