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抵抗率 基準ウエハ : NRWシリーズ

抵抗率 基準ウエハ : NRWシリーズ

製品名:NRW series

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • 抵抗率 基準ウエハ : NRWシリーズ
  • 抵抗率 基準ウエハ : NRWシリーズ

製品の特長

NRWシリーズは、抵抗測定のリーディングカンパニーであるナプソンの厳正な測定基準により、抵抗率評価/証明された、基準シリコンウエハです。中性子照射された安定性に優れたウエハを使用しています。

ナプソンの4探針法抵抗測定装置は、抵抗率スタンダードウエハ(NIST, VLSI)により校正されており、また下記のSEMIスタンダード、日本工業規格(JIS)および米国材料試験協会(ASTM)により定められた規格に準拠しています。

 

<準拠規格>

[SEMIスタンダード(SEMIl Standards)]

 SEMI-MF43-99, SEMI-MF374-02, SEMI-MF84-02, SEMI-MF1529-02

[米国材料試験協会(American Society for Testing and Materials)]

 ASTM-F-84-99(SEMI-MF84),  ASTM-F-374-00a,  ASTM-F-390-11, ASTM-F-1529-97

[日本工業規格(Japan Industrial Standards)]

 JIS-H-0602-1995

測定仕様

<共通仕様>

・材質:シリコン

・製造方法:FZ法

・表面仕上げ:ラップ

・結晶方向:(1-1-1) ± 1 deg.

・ドーピング:N型(リン)

・ウエハサイズ:Φ100mm(4インチ)

・ウエハ厚さ:*抵抗率タイプにより異なります。下記の表をご参照下さい。

 

<ウエハラインナップ/仕様>

タイプ 抵抗率
(Ohm.cm)
ウエハ厚さ
(µm)
シート抵抗
(Ohm/sq)
*計算値
NRW-1-28  28.00 ±2.00 559.00 ±25.00 500 程度
NRW-2-110  110.00 ±11.00 580.00 ±10.00 2000 程度
NRW-3-200  200.00 ±12.00 675.00 ±25.00 3000 程度
NRW-4-330  330.00 ±25.00 675.00 ±25.00 5000 程度
NRW-5-550  550.00 ±50.00 450.00 ±25.00 12000 程度

 

<抵抗率 測定保証精度>

保証位置 精度
センターエリア
(*ウエハ中心からφ5mmスポット)

± 3 %

*ナプソンの評価基準環条件/境下での保証精度

 

 

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

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