抵抗率基準ウエハー NRWシリーズ
製品の特長・機能
NRWシリーズは、抵抗測定のリーディングカンパニーであるナプソンの厳正な測定基準により、抵抗率評価／証明された、基準シリコンウエハーです。中性子照射された安定性に優れたウエハーを使用しています。
ナプソンの4探針法抵抗測定装置は、抵抗率スタンダードウエハ（NIST, VLSI)により校正されており、また下記のSEMIスタンダード、日本工業規格（JIS）により定められた規格に準拠しています。
＜準拠規格＞
［SEMIスタンダード（SEMIl Standards）］
SEMI-MF43-99, SEMI-MF374-02, SEMI-MF84-02, SEMI-MF1529-02
［日本工業規格（Japan Industrial Standards）］
JIS-H-0602-1995
測定仕様
共通仕様
- 材質：シリコン
- 製造方法：FZ法
- 表面仕上げ：ラップ
- 結晶方向：(1-1-1) ± 1 deg.
※NRW-8-52は (1-0-0) ± 1 deg. - ドーピング：N型（リン）
- ウエハーサイズ：Φ100mm（4インチ）
- ウエハー厚さ：*抵抗率タイプにより異なります。下記の表をご参照下さい。
ウエハーラインナップ／仕様
| タイプ | 抵抗率 （Ohm.cm） |
ウエハー厚さ （µm） |
シート抵抗 （Ohm/sq） *計算値 |
|---|---|---|---|
| NRW-6-16 | 16.00 ± 2.00 | 650.00 ± 25.00 | 250 程度 |
| NRW-7-42 | 41.50 ± 3.50 | 650.00 ± 25.00 | 650 程度 |
| NRW-8-52 | 52.00 ± 2.00 | 650.00 ± 25.00 | 800 程度 |
| NRW-2-110 | 110.00 ±11.00 | 580.00 ±10.00 | 2,000 程度 |
| NRW-3-200 | 200.00 ±12.00 | 675.00 ±25.00 | 3,000 程度 |
| NRW-4-330 | 330.00 ±25.00 | 675.00 ±25.00 | 5,000 程度 |
| NRW-5-550 | 550.00 ±50.00 | 450.00 ±25.00 | 12,000 程度 |
抵抗率 測定保証精度
| 保証位置 | 精度 |
|---|---|
| センターエリア （*ウエハー中心からφ5mmスポット） |
± 3 % |
*ナプソンの評価基準環条件／境下での保証精度
製品情報
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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ウエハーフラットネス測定システム
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ライフタイム測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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PN判定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。