ペンタイププローブ（ホット/コールドプローブ一体型）を接触させることで、サンプルの導電型（PN）を判定

単結晶シリコンウエハ、バルク、インゴットに対応

*一体型プローブで判定しにくいサンプルの場合は、ホット/コールドプローブ・セパレートタイプもお選び頂けます。

半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）

30x30mm以上

PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 ： １m ～ ２０k Ω･ｃｍ程度
*多結晶シリコン、膜付きウエハ、表面がミラー状態や酸化して いる試料などは一部判定不能

• LED光パルス照射のため、瞬時に判定可能
• 非接触方式のため、サンプルにダメージを与えない
• 表面に酸化膜のあるウエハも判定可能

半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）

２インチ以上、インゴットブロックにも対応

PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 ： ０.１～１,０００Ω･ｃｍ程度

• レーザー光照射で非接触のため、サンプルにダメージを与えない
• 電池式（単3乾電池）なので持ち運びに便利
• ボタンを押すだけでPN判定可能

半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）

*レーザー光照射が可能なサイズのサンプルなら判定可能

PN 判定可能なサンプル抵抗率範囲 ： 0.02～5,000Ω･ｃｍ程度

• レーザー方式による、太陽電池ウエハに特化した非接触式の組込モジュール
• 片面プローブでの測定
• ユーザー側の搬送装置などへの組込に対応
• LAN接続でホストPCへコマンド/測定データを通信

太陽電池ウエハ（*P/N ジャンクションがあること）

156x156mm、または210x210mm

PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 ： 0.1～1,000Ω･ｃｍ程度