ペンタイププローブ(ホット/コールドプローブ一体型)を接触させることで、サンプルの導電型(PN)を判定
単結晶シリコンウエハ、バルク、インゴットに対応
*一体型プローブで判定しにくいサンプルの場合は、ホット/コールドプローブ・セパレートタイプもお選び頂けます。
半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
30x30mm以上
PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 : 1m ~ 20k Ω・cm程度
*多結晶シリコン、膜付きウエハ、表面がミラー状態や酸化して いる試料などは一部判定不能
半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
2インチ以上、インゴットブロックにも対応
PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 : 0.1~1,000Ω・cm程度
半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
*レーザー光照射が可能なサイズのサンプルなら判定可能
PN 判定可能なサンプル抵抗率範囲 : 0.02~5,000Ω・cm程度
太陽電池ウエハ(*P/N ジャンクションがあること)
156x156mm、または210x210mm
PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 : 0.1~1,000Ω・cm程度