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PN判定

熱起電力方式の接触式PN判定器

製品名:PN-12α

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • PN判定
  • PN判定

製品の特長

ペンタイププローブ(ホット/コールドプローブ一体型)を接触させることで、サンプルの導電型(PN)を判定

単結晶シリコンウエハ、バルク、インゴットに対応

*一体型プローブで判定しにくいサンプルの場合は、ホット/コールドプローブ・セパレートタイプもお選び頂けます。

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)

測定サイズ

30x30mm以上

測定範囲

PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 : 1m ~ 20k Ω・cm程度
*多結晶シリコン、膜付きウエハ、表面がミラー状態や酸化して いる試料などは一部判定不能

光起電力方式の非接触式PN判定器 (特許取得製品:第2018748号)

製品名:PN-50α

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • PN判定

製品の特長

  • LED光パルス照射のため、瞬時に判定可能
  • 非接触方式のため、サンプルにダメージを与えない
  • 表面に酸化膜のあるウエハも判定可能

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)

測定サイズ

2インチ以上、インゴットブロックにも対応

測定範囲

PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 : 0.1~1,000Ω・cm程度

光起電力方式のペンタイプ非接触PN判定器

製品名:PN-8LP

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • PN判定
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製品の特長

  • レーザー光照射で非接触のため、サンプルにダメージを与えない
  • 電池式(単3乾電池)なので持ち運びに便利
  • ボタンを押すだけでPN判定可能

測定仕様

測定対象

半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)

測定サイズ

*レーザー光照射が可能なサイズのサンプルなら判定可能

測定範囲

PN 判定可能なサンプル抵抗率範囲 : 0.02~5,000Ω・cm程度

組込用 非接触PN判定モジュール(太陽電池ウエハ用)

製品名:PN-100BI

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • PN判定

製品の特長

  • レーザー方式による、太陽電池ウエハに特化した非接触式の組込モジュール
  • 片面プローブでの測定
  • ユーザー側の搬送装置などへの組込に対応
  • LAN接続でホストPCへコマンド/測定データを通信

測定仕様

測定対象

太陽電池ウエハ(*P/N ジャンクションがあること)

測定サイズ

156x156mm、または210x210mm

測定範囲

PN判定可能なサンプル抵抗率範囲 : 0.1~1,000Ω・cm程度