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4探針プローブヘッド

4探針法抵抗率・シート抵抗測定器用プローブヘッド

製品名:4-point probe head

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • 4探針プローブヘッド
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製品の特長

<プローブヘッドタイプ>

ナプソン製4探針測定システムには、カートリッジタイプ(*一部Jandelオリジナルタイプ)を使用しております。また、他社装置用の6ピンコネクタタイプ、スモールモジュールタイプもご用意しております。

  • (1) カートリッジタイプ(ナプソンオリジナル)  [製品イメージ 左上]
  • (2) スモールモジュールタイプ [製品イメージ 左下]
  • (3) 6ピンコネクタタイプ  [製品イメージ 右上]
  • (4) Jandelオリジナルタイプ  [製品イメージ 右下]

 

ナプソン製4探針法抵抗率・シート抵抗測定器は、Jandel社(英国)製の 高精度4探針プローブヘッドを採用しています。
Jandel製プローブヘッドは、高い精度が要求される半導体およびメタル薄膜などの 抵抗率・シート抵抗測定に最も適しており、長年にわたり、高い評価を得ております。
※V字型バネを採用しているため、針圧が常に安定しています。
※探針の保持にジュエルガイドが上部と下部の両方に使用されているため、 針間精度および安定性に優れています。
※軸と先端が一体化されており、先端チップの破損が少なく耐久性に優れています。

測定仕様

測定する試料の材質、表面状態、形状によりタイプを選択します。

<推奨参考例>

対象試料   プローブヘッド
(材質・先端半径) 
針圧/本 
シリコンインゴット・ブロック  TC-40u  200g
シリコンスライス  TC-40u  200g
エビタキシャル層  TC-150u  100g
薄いエピタキシャル層  TC-150u, 500u  50g
シャロー拡散等の薄い層  OS-200u, 500u  50g
拡散層  OS-200u, TC-150u  100g
イオンインプラ  TC-150u  50g, 100g
金属薄膜  TC-150u, 500u  25g, 50g, 100g
ITO膜   TC-150u, 500u  25g, 50g, 100g

 

※上記以外の試料でも測定可能です(導電可能なもの)。お問い合わせ下さい。

※その他タイプも準備しております。
※特殊仕様品もご相談に応じます。

(品番について)
<例> TC-40μ-200g/1.00mm
-針の材質:TC;タングステンカーバイド (OS;オスミウム合金)
-針の先端半径:40μm (25μmから500μmまで可能)
-針圧(g/本):200g (10gから250gまで可能)
-針間隔:1.00mm (0.5mmから1.59mmまで可能)
-針配列:リニア(標準) (スクエア可能)