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フラットネス・厚さ測定

ウエハフラットネス測定システム

製品名:FLA-200

製品イメージ(お客様の要望に応じ、様々にカスタマイズ可能です)

  • フラットネス・厚さ測定
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製品の特長

非接触式のフラットネス・厚さ測定システムです。 ウエハサンプルのフラットネス(TTV, BOW, WARP)、厚さを測定します。

  • ・厚さ、TTV、BOW、Warp、サイトフラットネス、グローバルフラットネスを測定に対応 (ASTM準拠)
  • ・2-D,3-Dマッピング表示対応のソフトウエア
  • ・CSVファイルでのデータ出力可能
  • ・5㎜φコア静電容量式プローブによる、高精度測定
  • ・12,000点スキャン/60秒以内の高速測定

測定仕様

測定対象

・半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
・シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
・化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)

測定サイズ

3~8インチ

測定範囲

Thickness: 200 –1200μm
Bow : +/-350μm
Warp: 350μm

リーフレット

*以下のボタンより、本製品のリーフレットがダウンロード出来ます。

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