RG-200PV
4探針法による抵抗率、シート抵抗の太陽電池用
セミオート測定器
製品の特長・機能
太陽電池ウェハ対象とした4探針法セミオート測定器
X-Y軸機構ステージ。
面内多点測定は、均等ピッチまたはランダムピッチの設定選択、2-D/3-Dマッピングソフトウェアを搭載
※ガラス基板を対象にした装置（RG-100）もございますので、ご入用の際はご相談下さい。
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル シリコン系薄膜（LTPSなど）、IGZO
- シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
最大210×210mm（角形）
その他サイズについてはご相談下さい。
測定レンジ
［抵抗率（比抵抗）］ 1m～10k・cm
［シート抵抗］1m～1MΩ/sq
製品サイズ
W400×D325×H600mm
約35kg
