Cresbox
4探針法による抵抗率、シート抵抗のテスター
ステージ一体タイプ セミオート
製品の特長・機能
測定パターンプログラマブル、円型・角型測定対応マッピングソフトウェア
- セルフテスト機能、広範囲測定レンジ
- 厚さ･ 周辺位置・温度補正機能（シリコン用）
- シート抵抗・メタル膜厚表示機能
動画解説
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
～8インチ、または～156ｘ156mm
測定レンジ
［抵抗率（比抵抗）］1m～300kΩ･cm
［シート抵抗］ 5m～10MΩ/sq
製品サイズ
W330×D600×H340mm
約36kg
