ライフタイム測定器
HF-90R
非接触（光伝導減衰法）シリコンインゴットライフタイム測定器
製品の特長・機能
- サンプルはJISタンザク形状での測定（単結晶シリコン）
- 光伝導減衰法による非接触式測定
- オシロスコープとPC（専用ソフトウェア）により、データ処理
測定仕様
測定対象
- シリコンインゴット
- シリコンバルク
- JISタンザク形状
対象のサイズ
JISタンザク形状（お問合せください）
測定レンジ
100～5,000μS程度
（抵抗率 10～5kΩ･cmの範囲)
HF-100DCA
JIS法（直流法）によるシリコンインゴットのライフタイム測定器
製品の特長・機能
- サンプルは、シリコンバルク、JISタンザク形状、インゴット状態での測定（単結晶・多結晶シリコン）
- 直流法による接触式測定
- オシロスコープとPC（専用ソフトウェア）により、データ処理
測定仕様
測定対象
- シリコンインゴット
- シリコンバルク
- JISタンザク形状
対象のサイズ
シリコンインゴット、JISタンザク形状（お問合せください）
測定レンジ
50μS～20mS程度
