RT-3000/RG-2000(RG-3000)
4探針法による抵抗率/シート抵抗の広範囲レンジ対応セミオート測定器
製品の特長・機能
世界一の抵抗測定レンジを持った4探針法測定器
- 測定パターンプログラマブル、円型・角型測定対応マッピングソフトウェア
- セルフテスト機能、厚さ・周辺位置・温度補正機能（シリコン用）
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 拡散サンプル
- シリコン系薄膜（LTPSなど）、IGZO
- シリコン系エピタキシャル、イオン注入サンプル
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
～8インチ、または～156ｘ156mm
オプション（大径サイズ対応：Model RG-3000）：～12インチ、～210×210mm
測定レンジ
①RT-3000(S)；
［抵抗率（比抵抗）］100μ～1MΩ・cm
［シート抵抗］1m～10MΩ/sq
②RT-3000(H)；
［シート抵抗］10m～1GΩ/sq
製品サイズ
RT-3000: W250×D323×H135 mm
約6kg
RG-2000: W1,020×D490×H408mm
約 90kg
RG-3000: W935×D564×H471mm
約 95kg
