PN判定器
PN-12α
接触式 熱起電力方式のPN判定器
製品の特長・機能
ペンタイププローブ（ホット／コールドプローブ一体型）を接触させることで、サンプルの導電型（PN）を判定
- 単結晶シリコンウエハー、バルク、インゴットに対応
*一体型プローブで判定しにくいサンプルの場合は、ホット／コールドプローブ・セパレートタイプもお選び頂けます。
測定仕様
測定対象
- 半導体
- 太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコンなど）
対象のサイズ
30✕30mm以上
測定レンジ
PN判定可能なサンプル抵抗率範囲：1m～20kΩ･cm程度
*多結晶シリコン、膜付きウエハー、表面がミラー状態や酸化している試料などは一部判定不能
PN-50α
非接触 光起電力方式のPN判定器（特許取得製品：第2018748号）
製品の特長・機能
LED光パルス照射のため、瞬時に判定可能
- 非接触方式のため、サンプルにダメージを与えない
- 表面に酸化膜のあるウエハーも判定可能
測定仕様
測定対象
- 半導体
- 太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコンなど）
対象のサイズ
2インチ以上、インゴットブロックにも対応
測定レンジ
PN判定可能なサンプル抵抗率範囲：0.1～1,000Ω･cm程度
PN-8LP
非接触 光起電力方式のペンタイプPN判定器
製品の特長・機能
レーザー光照射で非接触のため、サンプルにダメージを与えない
- 電池式（単3乾電池）なので持ち運びに便利
- ボタンを押すだけでPN判定可能
測定仕様
測定対象
- 半導体
- 太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコンなど）
対象のサイズ
*レーザー光照射が可能なサイズのサンプルなら判定可能
測定レンジ
PN判定可能なサンプル抵抗率範囲：0.1～2,000Ω･cm程度
PN-100BI
非接触 組込用 PN判定モジュール（太陽電池ウエハー用）
製品の特長・機能
レーザー方式による、太陽電池ウエハーに特化した非接触式の組込モジュール
- 片面プローブでの測定
- ユーザー側の搬送装置などへの組込に対応
- LAN接続でホストPCへコマンド／測定データを通信
測定仕様
測定対象
- 太陽電池ウエハー（*P/N ジャンクションがあること）
対象のサイズ
156✕156mm、または210✕210mm
測定レンジ
PN判定可能なサンプル抵抗率範囲：0.1～1,000Ω･cm程度
製品情報
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接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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ウエハーフラットネス測定システム
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ライフタイム測定器
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2探針法の拡がり抵抗測定器
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PN判定器
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4探針プローブヘッド
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抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。