NC-80MAP
非接触（渦電流法）による広範囲レンジ対応抵抗率、シート抵抗 セミオート測定器
製品の特長・機能
複数タイプの非接触プローブによる広範囲レンジ対応の抵抗測定器
（搭載するプローブ数およびプローブタイプはご要望により変更可能）
- エッジ8mmからの多点測定可能
- 非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えず測定が可能
- 測定パターンプログラマブルかつ2-D／3-Dマッピングソフトウェア
*オプション：ウエハー厚さ測定プローブ 追加搭載
動画解説
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
2～8インチ
（オプション；12インチ）
測定レンジ
［抵抗率］1m ～200Ω･cm
（*全プローブタイプの合計範囲／厚さ500umの場合）
［シート抵抗］10m～3kΩ/sq
（*全プローブタイプの合計範囲）
*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
（1）Low：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω·cm）
（2）Middle：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω·cm）
（3）High：10～1,000Ω/□（0.5～60Ω·cm）
（4）S-High：1,000～3,000Ω/□（60～200Ω·cm）
製品サイズ
W780×D580×H375mm
約70kg
