EC-80
非接触 渦電流法による抵抗率、シート抵抗マニュアル測定器
製品の特長・機能
プローブ間にサンプルを入れるだけで、測定可能な簡易測定器
- 抵抗率、シート抵抗測定モードを簡単に切り替え
- JOGダイアルによる簡単な測定条件設定
※プローブ固定式のため、ご購入の前に数タイプのプローブから1タイプを選択となります。
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
～8インチ、または～156✕156mm
測定レンジ
［抵抗率］1m～200Ω·cm
（*全プローブタイプの合計範囲／厚さ500umの場合）
［シート抵抗］10m～3kΩ/sq
（*全プローブタイプの合計範囲）
*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
（1）Low：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω·cm）
（2）Middle：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω·cm）
（3）High：10～1,000Ω/□（0.5～60Ω·cm）
（4）S-High：1,000～3,000Ω/□（60～200Ω·cm）
製品サイズ
W220×D325×H210mm
約6.5kg
