NC-110（NC-110PV）
非接触（渦電流法）による組込用抵抗率測定モジュール
製品の特長・機能
ユーザー側の製造ラインや搬送ロボットなどへの組込に対応した測定モジュール
- ご要望の抵抗測定レンジに合わせてプローブ数およびプローブタイプを決定
- LAN接続でホストPCへコマンド／測定データを通信
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 新素材・機能性材料関連（カーボンナノチューブ、DLC、グラフェン、銀ナノワイヤーなど）
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- 化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
- その他（※お問い合わせください）
対象のサイズ
2～8インチ、～156×156mm
（オプション；～12インチ、～210×210mm）
測定レンジ
［抵抗率］1m～200Ω·cm
（*全プローブタイプの合計範囲／厚さ500umの場合）
［シート抵抗］10m～3kΩ/sq
（*全プローブタイプの合計範囲）
［厚さ］500～800μｍ程度
*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
（1）Low：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω·cm）
（2）Middle：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω·cm）
（3）High：10～1,000Ω/□（0.5～60Ω·cm）
（4）S-High：1,000～3,000Ω/□（60～200Ω·cm）
非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
インライン（組込用測定モジュール）その他の製品
製品情報
非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器の関連製品
取扱い製品
-
接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
-
非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
-
ウエハーフラットネス測定システム
-
ライフタイム測定器
-
2探針法の拡がり抵抗測定器
-
PN判定器
-
4探針プローブヘッド
-
抵抗率基準ウエハー
電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード
電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
『電気抵抗測定の測定方法を詳しく知りたい』、『測定原理を理解したいけど既存文献だと分かりにくい』などのご要望がある場合には、ぜひご参照ください。