NC-2000FLA
非接触（渦電流法、静電容量法）による抵抗率、平坦度測定用全自動ソーティングシステム
製品の特長・機能
抵抗率、平坦度（厚さ）、PN判定の全てを全自動で非接触測定
- 抵抗率は渦電流法、平坦度は静電容量法を採用
- シリコンウエハー、GaP、InPなどの化合物半導体の生産管理に最適
- 温度計、温度補正機能付（シリコンウエハー）
- カセット数はご要望により、いくつでも対応可能
測定仕様
測定対象
- 半導体・太陽電池材料関連（シリコン、ポリシリコン、SiCなど）
- 化合物半導体関連（GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど）
対象のサイズ
3～8インチ
測定レンジ
［抵抗率］1m～200Ω·cm（*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合）
［シート抵抗］10m～3kΩ/s （*全プローブタイプの合計範囲）
［厚さ］150～1,200μｍ程度
*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
（1）Low：0.01～0.5Ω/□（0.001～0.05Ω·cm）
（2）Middle：0.5～10Ω/□（0.05～0.5Ω·cm）
（3）High：10～1,000Ω/□（0.5～60Ω·cm）
（4）S-High：1,000～3,000Ω/□（60～200Ω·cm）
