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ナプソン 製品情報

NC-2000FLA
非接触(渦電流法、静電容量法)による抵抗率、平坦度測定用全自動ソーティングシステム

製品の特長・機能

多点測定
MULTI POINT 多点測定
非接触式
NON-Contact type 非接触式
PC & Software
PC & Software
Full Automatic
Full Automatic フルオートタイプ

抵抗率、平坦度(厚さ)、PN判定の全てを全自動で非接触測定

  • 抵抗率は渦電流法、平坦度は静電容量法を採用
  • シリコンウエハー、GaP、InPなどの化合物半導体の生産管理に最適
  • 温度計、温度補正機能付(シリコンウエハー)
  • カセット数はご要望により、いくつでも対応可能

測定仕様

測定対象

  • 半導体・太陽電池材料関連(シリコン、ポリシリコン、SiCなど)
  • 化合物半導体関連(GaAs Epi, GaN Epi, InP, Gaなど)

対象のサイズ

3~8インチ

測定レンジ

[抵抗率]1m~200Ω·cm(*全プローブタイプの合計範囲/厚さ500umの場合)
[シート抵抗]10m~3kΩ/s (*全プローブタイプの合計範囲)
[厚さ]150~1,200μm程度

*プローブタイプごとの測定レンジは以下をご参照ください。
(1)Low:0.01~0.5Ω/□(0.001~0.05Ω·cm)
(2)Middle:0.5~10Ω/□(0.05~0.5Ω·cm)
(3)High:10~1,000Ω/□(0.5~60Ω·cm)
(4)S-High:1,000~3,000Ω/□(60~200Ω·cm)

非接触式 抵抗率、シート抵抗測定器
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製品情報

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電気抵抗測定の測定原理の資料ダウンロード

電気抵抗の測定方法・測定原理にをまとめた資料を作成しました。
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