RT-3000/RS-1300
フラットパネル分野における世界標準4探針法全自動測定システム
製品の特長・機能
フラットパネル（液晶用など）分野における世界標準シート抵抗測定システム
- セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ
- Min.0.1mm測定ピッチで、測定パターンを任意に設定可能
- カセット内ガラスサンプルマッピング（あり/なしサーチ）機能
- CIM通信、2-D/3-Dマッピングソフトウェア
測定仕様
測定対象
- 導電性薄膜関連（メタル、ITOなど）
- シリコン系薄膜（LTPSなど）、IGZO
対象のサイズ
～1,500×1,850mm程度
測定レンジ
［シート抵抗］10m～1GΩ/sq
（オプション；～1TΩ/sq）
