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膜厚測定システム(非接触・光学式)

製品名:膜厚測定システム(非接触・光学式)

製品の特長

  • ・DUV(190nm)から、NIR(1700nm)までの測定波長域
  • ・広範囲膜厚と光学定数(屈折率、吸収係数)測定
  • ・専用のソフトウエアにより、未知の薄膜解析も可能
  • ・薄膜の深さ方向特性の特定が可能
  • ・マルチアングル(広角度)反射率・透過率・分光エリプソ・干渉計に対応したシステム対応
  • ・最大5層までの屈折率・吸収係数・膜厚測定
  • ・リアルタイムCD測定モデルあり
  • ・TCV測定対応モデルあり
  • ・表面粗さ、バンドギャップ測定モデルあり
  • ・薄膜の温度に対する特性の変化測定
  • ・どんな基板上のグラフェンの厚さでも測定可能

測定仕様

  • 測定レンジ:最大1A ~150μm
  • 世界最小、光学定数(屈折率): 0002
  • 膜厚測定分解能: 最小03A