| HF-90R 世界で唯一の非接触光伝導減衰法インゴットライフタイム測定器 |
 |
|
 |
シリコンバルク、JISタンザク形状で測定 |
|
光伝導減衰法による非接触式測定 |
|
オシロスコープとPC（専用ソフトウェア）により、データ処理 |
|
コンパクト設計 |
| 測定対象 ： |
シリコンインゴット、シリコンバルク、JISタンザク形状 |
| 測定サイズ： |
JISタンザク形状（お問合せください） |
| 測定範囲 ： |
１００μS 〜 ５,０００μS程度
（抵抗率１０Ω･ｃｍ〜５,０００Ω･ｃｍの範囲) |
|
| HF-100DC JIS法（直流法）によるシリコンインゴットのライフタイム測定器 |
 |
|
|
シリコンバルク、JISタンザク形状、インゴット状態での測定可能 |
|
直流法による接触式測定 |
|
オシロスコープとPC（専用ソフトウェア）により、データ処理 |
| 測定対象 ： |
シリコンインゴット、シリコンバルク、JISタンザク形状 |
| 測定サイズ： |
JISタンザク形状（お問合せください） |
| 測定範囲 ： |
５０μS 〜 ２０ｍS程度 |
|
| HF-300 単結晶/多結晶シリコンウエハ・ブリック用のライフタイム測定システム |
 |
|
|
μ-PCD法による、非接触・非破壊での測定
|
|
単結晶・多結晶の両方のシリコンサンプルに対応 |
|
専用のパッシベーションカプセル付属（ウエハ用） |
| |
＜測定レーザーユニット＞タイプ：半導体レーザーダイオード、 |
| |
波長：９０５nm（ウエハ用）/１,０００nm（ブリック用）、ピーク電 |
| |
力：６０W、パルス幅：８０ｎS |
| |
＜オプション＞シート抵抗/抵抗率測定（４探針 or 非接触）機 |
| |
能追加 |
| 測定対象 ： |
単結晶/多結晶シリコンウエハ、ブリック（バルク） |
| 測定サイズ： |
［ウエハ］＜角型＞ 〜２１０ｍｍ角
＜円型＞ 〜２００ｍｍφ
［ブリック］Max. ２１０（W）×２１０（H）×５００（D）ｍｍ |
| 測定範囲 ： |
0.１μＳ 〜 １,０００μＳ
（測定対象の抵抗率範囲；０.１ 〜 １,０００Ω・ｃｍ） |
|
