半導体ウエハやFPD基板、太陽電池の抵抗率/シート抵抗測定システムなどの開発・製造・販売

製品情報

シリコンウエハの厚さ測定

Proformaシリーズ/ PV-1000　　MTIインスツルメンツの非接触ウエハ厚さ測定器
米国MTIインスツルメンツ製ウエハ厚さ測定器（ナプソン：日本総代理店）
Proforma 300/300G マニュアルタイプの ウエハ厚さ測定器 Proforma 200SA/300SA セミオートタイプのウエハ厚さ測定器 PV-1000 組込用ウエハ厚さ 測定モジュール   製品詳細は    ページへ
EC-80SCAN　　面内１直線上を連続測定可能な、非接触抵抗率・厚さ測定器
	センサ間にサンプルを入れるだけで測定可能な簡易測定器 抵抗率、厚さを同時に測定可能 面内１直線上を連続測定可能な「スキャン測定モード」を搭載 エアフローティングステージにより、ウエハの取扱いが容易 測定データ保存、パソコンへテキストファイル送信可能 （RS-232C） ＰＮ判定機能を追加可能（オプション）  測定対象　： シリコンウエハ（太陽電池、半導体シリコン）  測定サイズ： ２インチ〜８インチ、または５０〜１５６ｍｍ角  測定範囲　： ［抵抗率］０.００１〜２００Ω・ｃｍ ［シート抵抗］０.０１〜３,０００Ω/sq ［ウエハ厚］１５０〜３５０μｍまたは３５０〜７５０μｍ
NC-20　　パソコンによる簡単操作の非接触抵抗率/シート抵抗＋厚さ測定器
	非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えず測定が可能 測定方法：高周波渦電流法による抵抗率/シート抵抗測定、静電容量法でのウエハ厚さ測定 （抵抗率＋PN判定バージョン；NC-22） 中心付近の1点測定 温度補正機能（シリコンウエハ） 測定対象　： シリコンウエハ 、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ：　 ［ウエハ］３インチ〜８インチ、または〜１５６ｍｍ角 （オプション；２インチまたは１２インチ、〜２１０ｍｍ角） 測定範囲　： ［抵抗率］０.００１〜２００Ω･ｃｍ　 ［シート抵抗］０.０１〜３,０００Ω/sq
NC-80T　　シリコンウエハの厚さを高速測定・分類可能なソータ
	1点、5点測定が可能（その他の点数はオプションで対応） クロス5点測定で1枚あたり約9秒の高速タクト ローダ/アンローダの各カセット数は、任意に設計可能 測定対象　： シリコンウエハ（ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー） 測定サイズ：　 ［ウエハ］ ３インチ〜８インチ （オプション；２インチまたは１２インチ対応） 測定範囲　： ［厚さ］４００〜 ８００μｍ程度
RC-1S/TH　　抵抗レンジを判別・厚さを測定可能な簡易式シリコンウエハチェッカー
	ウエハを測定器一体式の試料台に載せるだけの簡単な操作 測定方法：抵抗率は渦電流法センサ、厚さはゲージ式 太陽電池用のシリコンウエハや再生ウエハ等の選別に最適 抵抗レンジについて：ご指定のレンジ分け・複数のレンジ設定での製作が可能（詳細はお問合せください） 測定対象　 ： シリコンウエハ （ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー、バルク） 、太陽電池用シリコンウエハ 測定サイズ　 ： ３インチ〜１２インチ、または〜２１０ｍｍ角 判別可能範囲 ： ０.０１Ω･ｃｍ 〜３０Ω･ｃｍ 判別レンジ 設定可能範囲 ： 抵抗下限値〜上限値までが10倍の範囲内
RC-3PN/TH　　抵抗レンジを判別・厚さを測定・PNを判定可能な簡易式シリコンウエハチェッカー
	ウエハを測定器一体式の試料台に載せるだけの簡単な操作 測定方法：抵抗率は渦電流法センサ、厚さはゲージ式、PN判定は光起電力法（特許2018748） 太陽電池用のシリコンウエハや再生ウエハ等の選別に最適 抵抗レンジについて：ご指定のレンジ分け・複数のレンジ設定での製作が可能（詳細はお問合せください） 測定対象　 ： シリコンウエハ（ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー、バルク） 、太陽電池用シリコンウエハ 測定サイズ　 ： ３インチ〜１２インチ 、または〜２１０ｍｍ角 判別可能範囲 ： ０.０１Ω･ｃｍ〜３０Ω･ｃｍ 判別レンジ 設定可能範囲 ： 抵抗下限値〜上限値までが10倍の範囲内