| NC-100PV 太陽電池ウエハ向けのインライン測定モジュール |
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ソーラーセルシリコンサンプル測定用のインライン対応モジュー |
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ル |
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抵抗率、ウエハ厚さを非接触で測定可能 |
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*抵抗測定モジュールのみでも販売可能です。（取得データはシ |
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ート抵抗値） |
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厚さ測定プローブを３個搭載することにより、TTV(Total |
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Thickness Variation)測定に対応可能 |
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ライフタイム測定、ＰＮ判定モジュールも追加可能 （オプション） |
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GO/NG判定、各種ソーティングによる品質管理や歩留まり向上 |
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に最適 |
| 測定対象 ： |
シリコンウエハ |
| 測定サイズ： |
１２６〜２１０ｍｍＳＱ（ＰＳＱ） |
| 測定範囲 ： |
［抵抗率］０.１〜１５Ω・ｃｍ
［厚さ］１００〜５００μｍ |
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| NC-700(NC-700V) 導電膜のシート抵抗測定用組込みモジュール |
*青線の縁取り部分がフィルム
です |
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プローブフレーム上下に設置された高周波渦電流法(非接触式) |
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プローブにより、フィルム・ガラス基板・ペーパー上の導電膜のシ |
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ート抵抗をインラインで連続測定 |
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必要なライン数（＝プローブ数）での製作が可能なため、研究開 |
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発から生産ラインまで幅広い用途に対応 |
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オフセットフリー仕様のため、長時間の連続測定が可能 |
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ユーザー側で既にお使いの搬送装置や成膜装置などへの取り |
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付けにも対応 |
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オプションにて、真空環境対応（NC-700V）、透過率測定対応 |
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（NC-700V＋TR）が可能 |
| 測定対象 ： |
フィルム・ガラス基板・ペーパー上の導電膜 |
| 測定サイズ： |
ご相談ください |
| 測定範囲 ： |
５０〜１,０００Ω/ｓｑ（その他の範囲も対応可能です。ご相談ください） |
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