半導体ウエハやFPD基板、太陽電池の抵抗率/シート抵抗測定システムなどの開発・製造・販売

製品情報

シリコンウエハの抵抗率測定 【4探針測定器】

RT-3000/RG-80N　　抵抗率/シート抵抗のスタンダードセミオート４探針測定器
（ステージカバー、非常停止 スイッチはオプションです）		パソコンによる簡単な操作、レシピ設定・測定・データ処理 測定パターンプログラマブルかつ円型・角型測定可能 セルフテスト機能、校正機能、厚さ・周辺位置・温度補正機能   （シリコンウエハ） ご入り用な抵抗レンジにより、２タイプの測定器から選択   （Sタイプ：標準、Hタイプ：高抵抗シート抵抗測定） 最大1,225点のマッピングソフトウェア（オプション） 測定対象　： シリコンウエハ、半導体薄膜（メタル、拡散、イオンインプラ、エピ）、ITO膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： ［ウエハ］〜８インチ、または〜１５６mm角              （オプション；〜１２インチ、〜２１０ｍｍ角） 測定範囲　： �@RT-3000(S)； ［抵抗率］１００μΩ・ｃｍ〜１ＭΩ・ｃｍ ［シート抵抗］１ｍΩ/ｓｑ〜１０ＭΩ/ｓｑ �ART-3000(H)； ［シート抵抗］１０ｍΩ/ｓｑ〜１ＧΩ/ｓｑ
CRESBOX　　抵抗率/シート抵抗の省スペースセミオート４探針測定器
		テスタ/ステージ一体型の省スペースモデル スタンドアロン/パソコンのどちらでも操作可能 測定時に外部環境の影響を受けにくいステージカバー採用 測定パターンプログラマブル（パソコン使用時）かつ円型・角型   測定可能 セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ 厚さ･ 周辺位置・温度補正機能（シリコンウエハ） シート抵抗・メタル膜厚表示機能（パソコン使用時） 最大1,225点のマッピングソフトウェア（オプション） 測定対象　： シリコンウエハ、半導体プロセス膜、メタル膜、ITO膜、拡散膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： ［ウエハ］２インチ〜８インチ、または〜１５６ｍｍ角 測定範囲　： ［抵抗率］１ｍΩ･ｃｍ〜３００kΩ･ｃｍ ［シート抵抗］５ｍΩ/sq 〜１０MΩ/sq
RT-70V/TS-7D　　抵抗率/シート抵抗のハンディプローブ式４探針測定器
(測定ステージは付属しません)		プローブヘッドを試料に当てるだけで測定スタート ハンディプローブタイプのため、どんな形状のサンプルでも測定   可能 JOGダイアルによる簡単な操作・厚さ入力（RT-70Vテスタ） セルフテスト機能、自動測定レンジ切替え、4種類の測定モード 温度補正機能付き（シリコン用） 測定対象　： シリコンウエハ、シリコンバルク、シリコンインゴット、拡散膜、メタル膜、ITO膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： 形状は問わない （４探針プローブを当てることが可能なサンプル） 測定範囲　： ［抵抗率］１.０μΩ･ｃｍ 〜３００.０ｋΩ･ｃｍ　　 ［シート抵抗］５.０ｍΩ/sq 〜１０.０ＭΩ/sq
RT-70V/RG-5　　抵抗率/シート抵抗の簡易測定用４探針測定器（ハンドルレバーによるプローブ上下機構）
		プローブ上下手動レバーステージ JOGダイアルによる簡単な操作・厚さ入力（RT-70Vテスタ） セルフテスト機能、自動測定レンジ切替え、4種類の測定モード 温度補正機能付き（シリコン用） 測定対象　： シリコンウエハ、シリコンバルク、拡散膜、メタル膜、ITO膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： ［ウエハ］２インチ〜８インチ、または〜１５６ｍｍ角 測定範囲　： ［抵抗率］１.０μΩ･ｃｍ 〜３００.０ｋΩ･ｃｍ　 ［シート抵抗］５.０ｍΩ/sq 〜１０.０ＭΩ/sq
RT-70V/RG-7　　抵抗率/シート抵抗の簡易測定用４探針測定器（モータによるプローブ上下機構）
		プローブ上下自動ステージ JOGダイアルによる簡単な操作・厚さ入力（RT-70Vテスタ） セルフテスト機能、自動測定レンジ切替え、4種類の測定モード 温度補正機能付き（シリコン用） 測定対象　： シリコンウエハ、シリコンバルク、拡散膜、メタル膜、ITO膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： [ウエハ] ２インチ〜８インチ、または〜１５６ｍｍ角 （１２インチ、２１０ｍｍ角対応バージョン；RG-70） 測定範囲　： ［抵抗率］１.０μΩ･ｃｍ 〜３００.０ｋΩ･ｃｍ　 ［シート抵抗］５.０ｍΩ/sq 〜１０.０ＭΩ/sq
RT-3000/RG-100　　太陽電池基板を対象にした抵抗率/シート抵抗測定セミオートシステム
		太陽電池の様々な基板に対応 セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ 円型・角型とも測定パターンを任意に設定可能 2-D/3-Dマッピングソフトウェア（オプション） 測定対象　： 太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど）、拡散膜、半導体プロセス膜、メタル膜、ITO膜、ｎ＋a−Si膜など 測定サイズ： 円型・角型ウエハ、ガラス、フィルムなど、 最大５００ｍｍｘ５００ｍｍ 測定範囲　： ［シート抵抗］１０ｍΩ/sq 〜１GΩ/sq                  （オプション；〜１０12Ω/sq）
WS-8800　　RT-3000/RG-80Nにロボットを搭載した４探針全自動システム
		厚さ測定、PN判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ） セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ 厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率測定） カセット数はご要望により、いくつでも対応可能 通信ソフトウェア、SMIFまたはFOUP対応（オプション） 測定対象　： シリコンウエハ（ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー） 測定サイズ： ［ウエハ］ ３インチ〜８インチ（または１２インチ） 測定範囲　： ［シート抵抗］１ｍΩ/sq 〜 １０MΩ/sq

シリコンウエハの抵抗率測定 【非接触測定器】

EC-80　　コンパクトで簡単操作の手動式非接触抵抗測定器
		プローブ間にサンプルを入れるだけで、測定可能な簡易測定器 抵抗率/シート抵抗測定モードを簡単に切り替え JOGダイアルによる簡単な測定条件設定 測定範囲により、5タイプのプローブから1タイプの選択 省スペース、コンパクト設計 測定対象　： シリコンウエハ、GaAsエピ層、GaN、GaP、InP、ITO膜、メタル膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： ２インチ〜８インチ、または〜１５６ｍｍ角 測定範囲　： ［抵抗率］０.００１〜２００Ω・ｃｍ ［シート抵抗］０.０１〜３,０００Ω/sq
EC-80P (Portable)　　ハンディプローブによる手動式非破壊抵抗測定器
		ハンディプローブを簡易接触させるだけで、抵抗測定が可能 ３つの測定モード（抵抗率/シート抵抗/バルク測定）を簡単に   切り替え JOGダイアルによる簡単な測定条件設定 抵抗測定範囲により、４タイプのプローブから1タイプの選択 コネクタ接続の抵抗測定プローブは交換可能なため、幅広い   抵抗レンジに対応（抵抗プローブ２個目以降はオプション対応） 測定対象　： シリコンウエハ、GaAsエピ層、GaN、GaP、InP、ITO膜、メタル膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： サンプルサイズ、形状を問わずに測定可能（但し２０ｍｍφより大きく、かつ平面が出ているもの） 測定範囲　： ［抵抗率］０.００１〜６０Ω・ｃｍ ［シート抵抗］０.０１〜1,０００Ω/sq
EC-80P-PN　　ハンディプローブによる手動式非破壊抵抗測定/ＰＮ判定器
		ハンディプローブを簡易接触させるだけで、抵抗測定とPN判定   が可能 ３つの測定モード（抵抗率/シート抵抗/バルク測定）を簡単に   切り替え JOGダイアルによる簡単な測定条件設定 抵抗測定範囲により、４タイプのプローブから1タイプの選択 コネクタ接続の抵抗測定プローブは交換可能なため、   幅広い抵抗レンジに対応（抵抗プローブ２個目以降はオプショ   ン対応）  測定対象　： シリコンウエハ、半導体プロセス膜、化合物半導体（GaAsエピ層膜）、ITO膜、メタル膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど）  測定サイズ： サンプルサイズ、形状を問わずに測定可能（但し２０ｍｍφより大きく、かつ平面が出ているもの）  測定範囲　： ［抵抗率］０.００１〜６０Ω・ｃｍ ［シート抵抗］０.０１〜１,０００Ω/sq ［ＰＮ判定可能な抵抗率範囲］ ０.１〜１,０００Ω・ｃｍ程度
EC-80SCAN　　面内１直線上を連続測定可能な、非接触抵抗率・厚さ測定器
		プローブ間にサンプルを入れるだけで測定可能な簡易測定器 抵抗率、厚さを同時に測定可能 面内１直線上を連続測定可能な「スキャン測定モード」を搭載 エアフローティングステージにより、ウエハの取扱いが容易 測定データ保存、パソコンへテキストファイル送信可能（RS-   232C） ＰＮ判定機能を追加可能（オプション）  測定対象　： シリコンウエハ（太陽電池、半導体シリコン）  測定サイズ： ２インチ〜８インチ、または５０〜１５６ｍｍ角  測定範囲　： ［抵抗率］０.００１〜２００Ω・ｃｍ ［シート抵抗］０.０１〜３,０００Ω/sq ［ウエハ厚］１５０〜３５０μｍまたは３５０〜７５０                 μｍ
NC-10　　パソコンによる簡単操作の非接触抵抗率/シート抵抗測定器
		省スペースでパソコンによる簡単な操作、データ処理 非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えず測定が可能 測定レンジにより、MiddleとHighの組合せプローブ交換式   (オプション：Low, S/High, Solar Cell) 中心付近の1点測定 温度補正機能（シリコンウエハ） 測定対象　： シリコンウエハ、GaAsエピ層、GaN、GaP、InP、ITO膜、メタル膜、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： ［ウエハ］３インチ〜８インチ、または〜１５６ｍｍ角 （オプション；２インチまたは１２インチ、〜２１０ｍｍ角） 測定範囲　： ［抵抗率］０.００１〜２００Ω・ｃｍ ［シート抵抗］０.０１〜３,０００Ω/sq
NC-20　　パソコンによる簡単操作の非接触抵抗率/シート抵抗＋厚さ測定器
		非接触の渦電流方式のため、ダメージを与えず測定が可能 測定方法：高周波渦電流法による抵抗率/シート抵抗測定、静   電容量法でのウエハ厚さ測定   （抵抗率＋PN判定バージョン；NC-22） 中心付近の1点測定 温度補正機能（シリコンウエハ） 測定対象　： シリコンウエハ 、太陽電池（ガラス上の薄膜、シリコンウエハなど） 測定サイズ： ［ウエハ］３インチ〜８インチ、または〜１５６ｍｍ角 （オプション；２インチまたは１２インチ、〜２１０ｍｍ角） 測定範囲　： ［抵抗率］０.００１〜２００Ω･ｃｍ　 ［シート抵抗］０.０１〜３,０００Ω/sq
NC-120α 　全自動非接触シリコンウエハ抵抗率多点測定システム
		ロボット搬送システム 抵抗率・厚さ・PN・温度を全て非接触測定 抵抗率・厚さは、周辺6ｍｍから9点まで測定可能 標準カセット数：ローダｘ1、アンローダｘ2                        （カセット数の変更可能） 測定対象　： シリコンウエハ 測定サイズ： ［ウエハ］８インチまたは１２インチ 測定範囲　： ０.００１Ω･ｃｍ 〜 ６０Ω･ｃｍ
NC-80MAP　　化合物GaAsエピ層、GaP、GaN等の非接触シート抵抗多点測定器
		周辺6ｍｍの多点測定可能 SPCソフトウェア（経時変化）機能 最大217点のマッピングソフトウェア 全自動搬送機構付システム対応（オプション） 測定対象　： 化合物半導体（GaAs、GaP、GaNなど） 測定サイズ： ［ウエハ］２インチ〜６インチ              （オプション；８インチ） 測定範囲　： ［シート抵抗］０.１Ω/sq 〜３,０００Ω/sq                   （オプション；１ｍΩ/sq 〜１Ω/sq）
NC-3000Ｒ　　クリーンロボットによる非接触ウエハソーティングシステム
		大口径ウエハを対象とした高精度測定システム 抵抗率・厚さ・PN判定を全て非接触測定 標準カセット数：ローダ/アンローダを合わせて７個 測定エリアと搬送エリアの2段式のため省スペース設計 測定対象　： シリコンウエハ （ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー） 測定サイズ： ［ウエハ］６インチ〜８インチ、または１２インチ
NC-6800　　ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム
		抵抗率・厚さ・PN判定を全て非接触測定 抵抗率は渦電流方式、厚さは静電容量方式を採用 シリコンウエハ、GaP、InPなどの化合物半導体の生産管理に最適 温度計、温度補正機能付（シリコンサンプル） 標準カセット数：ローダカセットｘ4、アンローダカセットｘ6                        （カセット数の変更可能） 測定対象　： シリコンウエハ（ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー）、太陽電池（シリコンウエハなど） 測定サイズ： ［ウエハ］３インチ〜８インチ（３サイズまで）、              または８インチ・１２インチ 測定範囲　： ［抵抗率］０.００１Ω･ｃｍ〜６０Ω･ｃｍ              （オプション；〜２００Ω･ｃｍ程度まで） ［厚さ］１５０〜８００μｍ程度 （精度保持のため、Max-Minの差は３００μｍ程度）
NC-6800Ｍ　　ローダスタックによる非接触ウエハソーティングシステム
		ローダ側のスタック（積み重ね）ウエハを自動で取り出し、搬送   するシステム ウエハ取出しは、真空吸着か静電吸着方式 抵抗率・厚さ・PN判定を全て非接触測定 標準カセット数：ローダスタックｘ１、アンローダカセットｘ6                        （スタック・カセット数の変更可能） 測定対象　： シリコンウエハ（ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー）、太陽電池（シリコンウエハなど） 　　　　　　　 測定サイズ： ［ウエハ］３インチ〜５インチ、角型基板 測定範囲　： ［抵抗率］０.００１Ω･ｃｍ〜６０Ω･ｃｍ              （オプション；〜２００Ω･ｃｍ程度まで） [ 厚さ］１５０〜８００μｍ程度 （精度保持のため、Max-Minの差は３００μｍ程度）

シリコンウエハの抵抗率測定 【非接触抵抗判別器】

RC-1S/TH　　抵抗レンジを判別・厚さを測定可能な簡易式シリコンウエハチェッカー
		ウエハを測定器一体式の試料台に載せるだけの簡単な操作 測定方法：抵抗率は渦電流法プローブ、厚さはゲージ式 太陽電池用のシリコンウエハや再生ウエハ等の選別に最適 抵抗レンジについて：ご指定のレンジ分け・複数のレンジ設定で   の製作が可能（詳細はお問合せください） 測定対象 ： シリコンウエハ （ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー、バルク） 、太陽電池用シリコンウエハ 測定サイズ ： ３インチ〜１２インチ、または〜２１０ｍｍ角 判別可能範囲 ： ０.０１Ω･ｃｍ 〜３０Ω･ｃｍ 判別レンジ 設定可能範囲 ： 抵抗下限値〜上限値までが10倍の範囲内
RC-2/PN　　抵抗レンジを判別・PNを判定可能な簡易式シリコンウエハチェッカー
		ウエハを測定器一体式の試料台に載せるだけの簡単な操作 測定方法：抵抗率は渦電流法プローブ、PN判定は光起電力法   （特許2018748） 太陽電池用のシリコンウエハや再生ウエハ等の選別に最適 抵抗レンジについて：ご指定のレンジ分け・複数のレンジ設定で   の製作が可能（詳細はお問合せください） 測定対象　 ： シリコンウエハ（ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー、バルク） 、太陽電池用シリコンウエハ 測定サイズ　 ： ３インチ〜１２インチ 、または〜２１０ｍｍ角 判別可能範囲 ： ０.０１Ω･ｃｍ〜３０Ω･ｃｍ 判別レンジ 設定可能範囲 ： 抵抗下限値〜上限値までが10倍の範囲内
RC-3PN/TH　　抵抗レンジを判別・厚さを測定・PNを判定可能な簡易式シリコンウエハチェッカー
		ウエハを測定器一体式の試料台に載せるだけの簡単な操作 測定方法：抵抗率は渦電流法プローブ、厚さはゲージ式、PN判   定は光起電力法（特許2018748） 太陽電池用のシリコンウエハや再生ウエハ等の選別に最適 抵抗レンジについて：ご指定のレンジ分け・複数のレンジ設定で   の製作が可能（詳細はお問合せください） 測定対象　 ： シリコンウエハ（ラップ、エッチド、ポリシド、ミラー、バルク） 、太陽電池用シリコンウエハ 測定サイズ　 ： ３インチ〜１２インチ 、または〜２１０ｍｍ角 判別可能範囲 ： ０.０１Ω･ｃｍ〜３０Ω･ｃｍ 判別レンジ 設定可能範囲 ： 抵抗下限値〜上限値までが10倍の範囲内